光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2008年
10期
1841-1846
,共6页
申振峰%高劲松%陈红%王笑夷%王彤彤%郑宣鸣
申振峰%高勁鬆%陳紅%王笑夷%王彤彤%鄭宣鳴
신진봉%고경송%진홍%왕소이%왕동동%정선명
总积分散射仪%SiC反射镜%表面改性
總積分散射儀%SiC反射鏡%錶麵改性
총적분산사의%SiC반사경%표면개성
根据总积分散射理论自制了半球式总积分散射仪,建立了系统规范的测试方法,并应用其对工程中SiC基底表面改性的效果进行了相关检测和评估.改性后RB-SiC和S-SiC基底的散射系数分别降低到2.86%和1.53%,已接近于抛光良好的微晶玻璃的水平(1.38%).该散射仪的优点是操作简单、方便快捷、不接触样品、对表面无损害.通过对测试数据的分析可知,从散射特性角度对SiC基底表面改性效果进行评估是合理有效的.把相关测试结果与分光光度计的测试结果对比,测量偏差在1.1%左右,说明该总积分散射仪的测试结果准确可靠.
根據總積分散射理論自製瞭半毬式總積分散射儀,建立瞭繫統規範的測試方法,併應用其對工程中SiC基底錶麵改性的效果進行瞭相關檢測和評估.改性後RB-SiC和S-SiC基底的散射繫數分彆降低到2.86%和1.53%,已接近于拋光良好的微晶玻璃的水平(1.38%).該散射儀的優點是操作簡單、方便快捷、不接觸樣品、對錶麵無損害.通過對測試數據的分析可知,從散射特性角度對SiC基底錶麵改性效果進行評估是閤理有效的.把相關測試結果與分光光度計的測試結果對比,測量偏差在1.1%左右,說明該總積分散射儀的測試結果準確可靠.
근거총적분산사이론자제료반구식총적분산사의,건립료계통규범적측시방법,병응용기대공정중SiC기저표면개성적효과진행료상관검측화평고.개성후RB-SiC화S-SiC기저적산사계수분별강저도2.86%화1.53%,이접근우포광량호적미정파리적수평(1.38%).해산사의적우점시조작간단、방편쾌첩、불접촉양품、대표면무손해.통과대측시수거적분석가지,종산사특성각도대SiC기저표면개성효과진행평고시합리유효적.파상관측시결과여분광광도계적측시결과대비,측량편차재1.1%좌우,설명해총적분산사의적측시결과준학가고.
