科技导报
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과기도보
SCIENCE & TECHNOLOGY REVIEW
2009年
5期
81-86
,共6页
李和平%李果%王森%包成玉
李和平%李果%王森%包成玉
리화평%리과%왕삼%포성옥
大气压%射频%辉光放电%低温等离子体
大氣壓%射頻%輝光放電%低溫等離子體
대기압%사빈%휘광방전%저온등리자체
射频大气压辉光放电等离子体在等离子体辅助刻蚀、薄膜沉积、消毒灭菌、空气净化、战地生化清洗等领域有着非常广阔的应用前景.目前,采用具有裸露金属电极结构的等离子体发生器实现大气压条件下氦气、氧气以及空气等廉价气体的稳定射频辉光放电是一项具有挑战性的研究工作.本文以采用诱导气体放电法和局部电场强化法产生纯氮、纯氧及空气的大气压射频辉光放电等离子体以及大气环境下气体流动对等离子体放电特性的影响为重点.综述了裸露金属电极结构的大气压射频辉光放电等离子体电特性实验研究的最新进展.
射頻大氣壓輝光放電等離子體在等離子體輔助刻蝕、薄膜沉積、消毒滅菌、空氣淨化、戰地生化清洗等領域有著非常廣闊的應用前景.目前,採用具有裸露金屬電極結構的等離子體髮生器實現大氣壓條件下氦氣、氧氣以及空氣等廉價氣體的穩定射頻輝光放電是一項具有挑戰性的研究工作.本文以採用誘導氣體放電法和跼部電場彊化法產生純氮、純氧及空氣的大氣壓射頻輝光放電等離子體以及大氣環境下氣體流動對等離子體放電特性的影響為重點.綜述瞭裸露金屬電極結構的大氣壓射頻輝光放電等離子體電特性實驗研究的最新進展.
사빈대기압휘광방전등리자체재등리자체보조각식、박막침적、소독멸균、공기정화、전지생화청세등영역유착비상엄활적응용전경.목전,채용구유라로금속전겁결구적등리자체발생기실현대기압조건하양기、양기이급공기등렴개기체적은정사빈휘광방전시일항구유도전성적연구공작.본문이채용유도기체방전법화국부전장강화법산생순담、순양급공기적대기압사빈휘광방전등리자체이급대기배경하기체류동대등리자체방전특성적영향위중점.종술료라로금속전겁결구적대기압사빈휘광방전등리자체전특성실험연구적최신진전.
