稀有金属材料与工程
稀有金屬材料與工程
희유금속재료여공정
RARE METAL MATERIALS AND ENGINEERNG
2010年
z1期
77-80
,共4页
磁控溅射沉积%氮离子注入%摩擦系数
磁控濺射沉積%氮離子註入%摩抆繫數
자공천사침적%담리자주입%마찰계수
利用磁控溅射法在GCr15轴承钢表面沉积厚约100 nm的钽膜,然后对其进行氮等离子体基离子注入,注入能量为50 keV,利用GXRD分析改性层的组成相结构,用Φ6 mm的氮化硅球作为对磨件测试处理后试样的磨损性能,并利用SEM结合EDX观测磨痕的形貌及成分,探讨其磨损机制.结果表明,改性层含有钽的氮化物,注入剂量较低时,化合物是TaN0.1,随着注入剂量增加,形成TaN;GCr15钢经过处理后能够提高磨损性能,摩擦系数有所降低:表面经过处理后,摩擦系数由未处理前的0.8～1下降至0.2～0.3,同时磨损量大幅度降低,降低幅度达到88%.注入层的磨损机制主要以磨粒磨损为主,兼有粘着磨损.
利用磁控濺射法在GCr15軸承鋼錶麵沉積厚約100 nm的鐽膜,然後對其進行氮等離子體基離子註入,註入能量為50 keV,利用GXRD分析改性層的組成相結構,用Φ6 mm的氮化硅毬作為對磨件測試處理後試樣的磨損性能,併利用SEM結閤EDX觀測磨痕的形貌及成分,探討其磨損機製.結果錶明,改性層含有鐽的氮化物,註入劑量較低時,化閤物是TaN0.1,隨著註入劑量增加,形成TaN;GCr15鋼經過處理後能夠提高磨損性能,摩抆繫數有所降低:錶麵經過處理後,摩抆繫數由未處理前的0.8～1下降至0.2～0.3,同時磨損量大幅度降低,降低幅度達到88%.註入層的磨損機製主要以磨粒磨損為主,兼有粘著磨損.
이용자공천사법재GCr15축승강표면침적후약100 nm적단막,연후대기진행담등리자체기리자주입,주입능량위50 keV,이용GXRD분석개성층적조성상결구,용Φ6 mm적담화규구작위대마건측시처리후시양적마손성능,병이용SEM결합EDX관측마흔적형모급성분,탐토기마손궤제.결과표명,개성층함유단적담화물,주입제량교저시,화합물시TaN0.1,수착주입제량증가,형성TaN;GCr15강경과처리후능구제고마손성능,마찰계수유소강저:표면경과처리후,마찰계수유미처리전적0.8～1하강지0.2～0.3,동시마손량대폭도강저,강저폭도체도88%.주입층적마손궤제주요이마립마손위주,겸유점착마손.
