科技导报
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과기도보
SCIENCE & TECHNOLOGY REVIEW
2010年
20期
91-96
,共6页
常压等离子体%微等离子体喷枪%微空心阴极放电%微介质阻挡放电
常壓等離子體%微等離子體噴鎗%微空心陰極放電%微介質阻擋放電
상압등리자체%미등리자체분창%미공심음겁방전%미개질조당방전
微等离子体喷枪是一类重要的微等离子体源,已成为近年国际上低温等离子体研究的热点课题之一.与常规等离子体喷枪相比,微等离子喷枪具有低功耗、低温度、高密度等特性.由于电极间隙小,适合于高气压或大气压下运行,因而微等离子体喷枪具有体积小、易于集成、便携等优势.目前研制的微等离子体喷枪主要有直流微空心阴极型、高频微DBD型、射频电容耦合型、射频电感耦合型、微波耦合型等放电形式.现阶段,微等离子体喷枪已在半导体制造领域、生物医学领域、航天推进领域进入了实用化阶段.本研究组研究制作了高频微DBD和射频电容耦合型结构的喷枪.将其应用于光刻胶去胶、材料表面改性及微生物灭菌领域,并对喷枪的放电特性进行了研究.基于本研究组的实验研究,本文综述了已有的各种微等离子体喷枪.介绍了各种微等离子体喷枪的结构和工作原理,以及在不同领域的研究和应用状况.
微等離子體噴鎗是一類重要的微等離子體源,已成為近年國際上低溫等離子體研究的熱點課題之一.與常規等離子體噴鎗相比,微等離子噴鎗具有低功耗、低溫度、高密度等特性.由于電極間隙小,適閤于高氣壓或大氣壓下運行,因而微等離子體噴鎗具有體積小、易于集成、便攜等優勢.目前研製的微等離子體噴鎗主要有直流微空心陰極型、高頻微DBD型、射頻電容耦閤型、射頻電感耦閤型、微波耦閤型等放電形式.現階段,微等離子體噴鎗已在半導體製造領域、生物醫學領域、航天推進領域進入瞭實用化階段.本研究組研究製作瞭高頻微DBD和射頻電容耦閤型結構的噴鎗.將其應用于光刻膠去膠、材料錶麵改性及微生物滅菌領域,併對噴鎗的放電特性進行瞭研究.基于本研究組的實驗研究,本文綜述瞭已有的各種微等離子體噴鎗.介紹瞭各種微等離子體噴鎗的結構和工作原理,以及在不同領域的研究和應用狀況.
미등리자체분창시일류중요적미등리자체원,이성위근년국제상저온등리자체연구적열점과제지일.여상규등리자체분창상비,미등리자분창구유저공모、저온도、고밀도등특성.유우전겁간극소,괄합우고기압혹대기압하운행,인이미등리자체분창구유체적소、역우집성、편휴등우세.목전연제적미등리자체분창주요유직류미공심음겁형、고빈미DBD형、사빈전용우합형、사빈전감우합형、미파우합형등방전형식.현계단,미등리자체분창이재반도체제조영역、생물의학영역、항천추진영역진입료실용화계단.본연구조연구제작료고빈미DBD화사빈전용우합형결구적분창.장기응용우광각효거효、재료표면개성급미생물멸균영역,병대분창적방전특성진행료연구.기우본연구조적실험연구,본문종술료이유적각충미등리자체분창.개소료각충미등리자체분창적결구화공작원리,이급재불동영역적연구화응용상황.
