传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2011年
7期
51-53,56
,共4页
阮晓东%巴静%陈晖%陈文昱%傅新
阮曉東%巴靜%陳暉%陳文昱%傅新
원효동%파정%진휘%진문욱%부신
狭小流场%聚偏氟乙烯薄膜%动态压力%光刻工艺
狹小流場%聚偏氟乙烯薄膜%動態壓力%光刻工藝
협소류장%취편불을희박막%동태압력%광각공예
针对检测狭小空间流场压力时,通用液体压力传感器存在体积大、频响低以及干扰流场等问题,提出一种基于聚偏氟乙烯(PVDF)薄膜的流场动态压力检测方法,该方法采用光刻工艺直接在敷镀有金属铝电极的PVDF薄膜上制作压力传感元件,该元件具有面积小、厚度薄、柔韧性好的特点,非常适合于狭小流场空间壁面压力分布的测量.试验研究表明:该方法特别适用于检测流场微小的压力波动,线性度误差为±2.3％,输出灵敏度为1.32 mV/Pa.
針對檢測狹小空間流場壓力時,通用液體壓力傳感器存在體積大、頻響低以及榦擾流場等問題,提齣一種基于聚偏氟乙烯(PVDF)薄膜的流場動態壓力檢測方法,該方法採用光刻工藝直接在敷鍍有金屬鋁電極的PVDF薄膜上製作壓力傳感元件,該元件具有麵積小、厚度薄、柔韌性好的特點,非常適閤于狹小流場空間壁麵壓力分佈的測量.試驗研究錶明:該方法特彆適用于檢測流場微小的壓力波動,線性度誤差為±2.3％,輸齣靈敏度為1.32 mV/Pa.
침대검측협소공간류장압력시,통용액체압력전감기존재체적대、빈향저이급간우류장등문제,제출일충기우취편불을희(PVDF)박막적류장동태압력검측방법,해방법채용광각공예직접재부도유금속려전겁적PVDF박막상제작압력전감원건,해원건구유면적소、후도박、유인성호적특점,비상괄합우협소류장공간벽면압력분포적측량.시험연구표명:해방법특별괄용우검측류장미소적압력파동,선성도오차위±2.3％,수출령민도위1.32 mV/Pa.
