热加工工艺
熱加工工藝
열가공공예
HOT WORKING TECHNOLOGY
2012年
4期
120-122,129
,共4页
微弧氧化%BaTiO3%介电薄膜%截面结构
微弧氧化%BaTiO3%介電薄膜%截麵結構
미호양화%BaTiO3%개전박막%절면결구
采用微弧氧化技术在工业纯Ti板表面沉积了BaTiO3薄膜,利用XRD、SEM、EPMA表征了薄膜表面及截面的物相组成、截面结构以及截面元素分布情况,并利用电容探测仪检测了薄膜的介电性能.结果表明:薄膜表面和截面均主要由四方相BaTiO3组成；薄膜截面可分为过渡层、致密层和疏松层,但各层元素含量不同；微孔的存在导致Ba、Ti、O三种元素在截面区域内的分布出现突变；测得薄膜在100 Hz下的介电常数和介质损耗分别为227.3和0.043.
採用微弧氧化技術在工業純Ti闆錶麵沉積瞭BaTiO3薄膜,利用XRD、SEM、EPMA錶徵瞭薄膜錶麵及截麵的物相組成、截麵結構以及截麵元素分佈情況,併利用電容探測儀檢測瞭薄膜的介電性能.結果錶明:薄膜錶麵和截麵均主要由四方相BaTiO3組成；薄膜截麵可分為過渡層、緻密層和疏鬆層,但各層元素含量不同；微孔的存在導緻Ba、Ti、O三種元素在截麵區域內的分佈齣現突變；測得薄膜在100 Hz下的介電常數和介質損耗分彆為227.3和0.043.
채용미호양화기술재공업순Ti판표면침적료BaTiO3박막,이용XRD、SEM、EPMA표정료박막표면급절면적물상조성、절면결구이급절면원소분포정황,병이용전용탐측의검측료박막적개전성능.결과표명:박막표면화절면균주요유사방상BaTiO3조성；박막절면가분위과도층、치밀층화소송층,단각층원소함량불동；미공적존재도치Ba、Ti、O삼충원소재절면구역내적분포출현돌변；측득박막재100 Hz하적개전상수화개질손모분별위227.3화0.043.
