测试技术学报
測試技術學報
측시기술학보
JOURNAL OF TEST AND MEASUREMENT TECHNOLOGY
2002年
z1期
427-429
,共3页
吕爱民%薛长生%刘锦华%樊玉富
呂愛民%薛長生%劉錦華%樊玉富
려애민%설장생%류금화%번옥부
光电位置敏感探测器%标定装置%测量%位置精度
光電位置敏感探測器%標定裝置%測量%位置精度
광전위치민감탐측기%표정장치%측량%위치정도
本文介绍标定PSD原理和方法及标定装置的组成,解决PSD无专用标定装置的问题,满足PSD全敏感面位置精度和线性标定的要求,使其具有全自动、高精度、多方法标定的特点.
本文介紹標定PSD原理和方法及標定裝置的組成,解決PSD無專用標定裝置的問題,滿足PSD全敏感麵位置精度和線性標定的要求,使其具有全自動、高精度、多方法標定的特點.
본문개소표정PSD원리화방법급표정장치적조성,해결PSD무전용표정장치적문제,만족PSD전민감면위치정도화선성표정적요구,사기구유전자동、고정도、다방법표정적특점.
