工程热物理学报
工程熱物理學報
공정열물이학보
JOURNAL OF ENGINEERING THERMOPHYSICS
2003年
4期
679-681
,共3页
朱德忠%张荣海%顾毓沁%郝京阳
硃德忠%張榮海%顧毓沁%郝京暘
주덕충%장영해%고육심%학경양
MEMS%红外热成像%温度分布
MEMS%紅外熱成像%溫度分佈
MEMS%홍외열성상%온도분포
微电子机械系统(MEMS)的很多器件均凭借热工作原理,在其设计、性能评估中都需要了解热特性,特别是温度分布的动静态特性.本文用显微红外热成像技术测试分析了气体传感器微热板、微机械热对流加速度计的微加热器、热驱动微热泵芯片的温度分布特性及微辐射热计的热阻特性.在测试中考虑了对象的有效发射率等影响测量精度的系统因素.
微電子機械繫統(MEMS)的很多器件均憑藉熱工作原理,在其設計、性能評估中都需要瞭解熱特性,特彆是溫度分佈的動靜態特性.本文用顯微紅外熱成像技術測試分析瞭氣體傳感器微熱闆、微機械熱對流加速度計的微加熱器、熱驅動微熱泵芯片的溫度分佈特性及微輻射熱計的熱阻特性.在測試中攷慮瞭對象的有效髮射率等影響測量精度的繫統因素.
미전자궤계계통(MEMS)적흔다기건균빙차열공작원리,재기설계、성능평고중도수요료해열특성,특별시온도분포적동정태특성.본문용현미홍외열성상기술측시분석료기체전감기미열판、미궤계열대류가속도계적미가열기、열구동미열빙심편적온도분포특성급미복사열계적열조특성.재측시중고필료대상적유효발사솔등영향측량정도적계통인소.
