济南大学学报（自然科学版）
濟南大學學報（自然科學版）
제남대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF JINAN UNIVERSITY(SCIENE AND TECHNOLOGY)
2006年
3期
206-208
,共3页
钛酸锶钡%锰元素%X射线衍射%介频谱%介温谱
鈦痠鍶鋇%錳元素%X射線衍射%介頻譜%介溫譜
태산송패%맹원소%X사선연사%개빈보%개온보
以醋酸盐和钛酸四丁酯为原料,采用溶胶-凝胶工艺在Pt/TiO2/SiO2/Si基片上制备了掺锰Ba0.5Sr0.5TiO3薄膜.通过X射线衍射和扫描电镜分析研究了薄膜的相结构和形貌,测试了以Pt为底电极、Ag为上电极的MFM电容器的介电性能.研究结果表明:掺锰Ba0.5Sr0.5TiO3薄膜较未掺杂的Ba0.5Sr0.5TiO3薄膜介电常数高、介电损耗降低.介温谱表明在居里温度附近发生弥散型相变,且居里温度有向低温方向漂移的趋势.
以醋痠鹽和鈦痠四丁酯為原料,採用溶膠-凝膠工藝在Pt/TiO2/SiO2/Si基片上製備瞭摻錳Ba0.5Sr0.5TiO3薄膜.通過X射線衍射和掃描電鏡分析研究瞭薄膜的相結構和形貌,測試瞭以Pt為底電極、Ag為上電極的MFM電容器的介電性能.研究結果錶明:摻錳Ba0.5Sr0.5TiO3薄膜較未摻雜的Ba0.5Sr0.5TiO3薄膜介電常數高、介電損耗降低.介溫譜錶明在居裏溫度附近髮生瀰散型相變,且居裏溫度有嚮低溫方嚮漂移的趨勢.
이작산염화태산사정지위원료,채용용효-응효공예재Pt/TiO2/SiO2/Si기편상제비료참맹Ba0.5Sr0.5TiO3박막.통과X사선연사화소묘전경분석연구료박막적상결구화형모,측시료이Pt위저전겁、Ag위상전겁적MFM전용기적개전성능.연구결과표명:참맹Ba0.5Sr0.5TiO3박막교미참잡적Ba0.5Sr0.5TiO3박막개전상수고、개전손모강저.개온보표명재거리온도부근발생미산형상변,차거리온도유향저온방향표이적추세.
