西安交通大学学报
西安交通大學學報
서안교통대학학보
JOURNAL OF XI'AN JIAOTONG UNIVERSITY
2007年
9期
1070-1074
,共5页
孙国栋%李贺军%付前刚%曹伟%宋广兴
孫國棟%李賀軍%付前剛%曹偉%宋廣興
손국동%리하군%부전강%조위%송엄흥
化学气相沉积%SiC涂层%数值模拟%复合材料
化學氣相沉積%SiC塗層%數值模擬%複閤材料
화학기상침적%SiC도층%수치모의%복합재료
根据化学气相沉积法的工艺特点,对C/C复合材料SiC涂层的制备过程进行了数学建模和有限元模拟,得出了反应器内以及试样表面反应物浓度的变化规律,并且获得了反应器内反应物浓度与沉积产物间的关系.结合实验分析,验证了SiC涂层晶粒尺寸的变化和沉积形貌的演变是由于反应气体浓度分布随位置变化造成的:沿着反应气体流动的方向,反应物浓度逐渐降低,沉积得到的SiC晶粒尺寸逐渐减小,沉积形貌由堆积岛状到颗粒状再到晶须状逐级演变.
根據化學氣相沉積法的工藝特點,對C/C複閤材料SiC塗層的製備過程進行瞭數學建模和有限元模擬,得齣瞭反應器內以及試樣錶麵反應物濃度的變化規律,併且穫得瞭反應器內反應物濃度與沉積產物間的關繫.結閤實驗分析,驗證瞭SiC塗層晶粒呎吋的變化和沉積形貌的縯變是由于反應氣體濃度分佈隨位置變化造成的:沿著反應氣體流動的方嚮,反應物濃度逐漸降低,沉積得到的SiC晶粒呎吋逐漸減小,沉積形貌由堆積島狀到顆粒狀再到晶鬚狀逐級縯變.
근거화학기상침적법적공예특점,대C/C복합재료SiC도층적제비과정진행료수학건모화유한원모의,득출료반응기내이급시양표면반응물농도적변화규률,병차획득료반응기내반응물농도여침적산물간적관계.결합실험분석,험증료SiC도층정립척촌적변화화침적형모적연변시유우반응기체농도분포수위치변화조성적:연착반응기체류동적방향,반응물농도축점강저,침적득도적SiC정립척촌축점감소,침적형모유퇴적도상도과립상재도정수상축급연변.
