中国科学基金
中國科學基金
중국과학기금
BULLETIN OF NATIONAL NATURAL SCIENCE FOUNDATION OF CHINA
2008年
3期
138-144
,共7页
纳功能器件%纳电子电路%物理原理%系统集成%自下而上%硅技术
納功能器件%納電子電路%物理原理%繫統集成%自下而上%硅技術
납공능기건%납전자전로%물리원리%계통집성%자하이상%규기술
本文综合评述了国内外纳电子器件和新原理的纳功能器件的最新进展,指出硅基微电子技术正在向与新的、目前尚不明确核心技术的纳信息技术共同发展的方向转型,这是我国信息技术和产业后来居上的重要机遇.基于纳尺度各种显著的物理效应和多场耦合原理,开展低维纳功能器件的新原理、新性能、新架构的深入系统的研究,具有重大科学与现实意义.这类纳信息功能器件与硅芯片技术相融合的设计、工艺和技术将是需要突破的重大问题.随着纳米科学技术研究的重点向功能化器件系统方向发展,如何加强以产业发展为背景的研究,特别是加强微纳电子、芯片设计制造业与纳米科技基础研究的结合,加强微纳硅工艺与新的纳米技术的结合,加强高水平科学研究发现与关键技术创新的结合,是我国纳米科学技术发展的重要问题.
本文綜閤評述瞭國內外納電子器件和新原理的納功能器件的最新進展,指齣硅基微電子技術正在嚮與新的、目前尚不明確覈心技術的納信息技術共同髮展的方嚮轉型,這是我國信息技術和產業後來居上的重要機遇.基于納呎度各種顯著的物理效應和多場耦閤原理,開展低維納功能器件的新原理、新性能、新架構的深入繫統的研究,具有重大科學與現實意義.這類納信息功能器件與硅芯片技術相融閤的設計、工藝和技術將是需要突破的重大問題.隨著納米科學技術研究的重點嚮功能化器件繫統方嚮髮展,如何加彊以產業髮展為揹景的研究,特彆是加彊微納電子、芯片設計製造業與納米科技基礎研究的結閤,加彊微納硅工藝與新的納米技術的結閤,加彊高水平科學研究髮現與關鍵技術創新的結閤,是我國納米科學技術髮展的重要問題.
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