真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2003年
2期
116-119
,共4页
王巍%兰中文%王豪才%高能武%秦跃利%孔祥栋
王巍%蘭中文%王豪纔%高能武%秦躍利%孔祥棟
왕외%란중문%왕호재%고능무%진약리%공상동
Ce∶YIG石榴石%光隔离器%磁光%磁性能%二氧化硅衬底
Ce∶YIG石榴石%光隔離器%磁光%磁性能%二氧化硅襯底
Ce∶YIG석류석%광격리기%자광%자성능%이양화규츤저
使用射频磁控溅射法在非晶态的二氧化硅衬底上制备Ce1YIG磁光薄膜.生成的Ce1YIG薄膜为非晶态形式,经过后续的热处理过程,转变为晶化薄膜,在用波长为630 nm的激光测量时,薄膜的饱和法拉弟旋转系数θF为800°/mm.晶化薄膜具有很强的平行于膜面的磁化强度,用VSM测得晶化薄膜的居里温度为220 ℃.实验结果表明:所制备的薄膜适宜于制备波导型磁光隔离器.同时,这一方法为进一步研究非互易平面光波回路打下了基础.
使用射頻磁控濺射法在非晶態的二氧化硅襯底上製備Ce1YIG磁光薄膜.生成的Ce1YIG薄膜為非晶態形式,經過後續的熱處理過程,轉變為晶化薄膜,在用波長為630 nm的激光測量時,薄膜的飽和法拉弟鏇轉繫數θF為800°/mm.晶化薄膜具有很彊的平行于膜麵的磁化彊度,用VSM測得晶化薄膜的居裏溫度為220 ℃.實驗結果錶明:所製備的薄膜適宜于製備波導型磁光隔離器.同時,這一方法為進一步研究非互易平麵光波迴路打下瞭基礎.
사용사빈자공천사법재비정태적이양화규츤저상제비Ce1YIG자광박막.생성적Ce1YIG박막위비정태형식,경과후속적열처리과정,전변위정화박막,재용파장위630 nm적격광측량시,박막적포화법랍제선전계수θF위800°/mm.정화박막구유흔강적평행우막면적자화강도,용VSM측득정화박막적거리온도위220 ℃.실험결과표명:소제비적박막괄의우제비파도형자광격리기.동시,저일방법위진일보연구비호역평면광파회로타하료기출.
