压电与声光
壓電與聲光
압전여성광
PIEZOELECTRICS & ACOUSTOOPTICS
2000年
3期
186-189
,共4页
卢德新%叶雪军%刘卫忠%徐则川
盧德新%葉雪軍%劉衛忠%徐則川
로덕신%협설군%류위충%서칙천
稀土锰酸盐薄膜%非挥发性存储器%金属-铁电体-半导体场效应晶体管%制备方法%铁电薄膜性能
稀土錳痠鹽薄膜%非揮髮性存儲器%金屬-鐵電體-半導體場效應晶體管%製備方法%鐵電薄膜性能
희토맹산염박막%비휘발성존저기%금속-철전체-반도체장효응정체관%제비방법%철전박막성능
对金属-铁电体-半导体场效应晶体管器件而言,具有六方晶系结构的稀土锰酸盐(ReMnO3)是性能优良的薄膜材料,它们的介电常数低,仅仅只有单一的极化轴,没有挥发性的元素Pb、Bi等.本文作者对ReMnO3材料的结构特征、制备方法及其铁电性能等进行了介绍,并指出存在的困难及其发展方向.
對金屬-鐵電體-半導體場效應晶體管器件而言,具有六方晶繫結構的稀土錳痠鹽(ReMnO3)是性能優良的薄膜材料,它們的介電常數低,僅僅隻有單一的極化軸,沒有揮髮性的元素Pb、Bi等.本文作者對ReMnO3材料的結構特徵、製備方法及其鐵電性能等進行瞭介紹,併指齣存在的睏難及其髮展方嚮.
대금속-철전체-반도체장효응정체관기건이언,구유륙방정계결구적희토맹산염(ReMnO3)시성능우량적박막재료,타문적개전상수저,부부지유단일적겁화축,몰유휘발성적원소Pb、Bi등.본문작자대ReMnO3재료적결구특정、제비방법급기철전성능등진행료개소,병지출존재적곤난급기발전방향.
