应用声学
應用聲學
응용성학
APPLIED ACOUSTICS
2003年
5期
1-4
,共4页
杨楚威%黄歆%李俊红%解述%魏建辉%马军%汪承灏
楊楚威%黃歆%李俊紅%解述%魏建輝%馬軍%汪承灝
양초위%황흠%리준홍%해술%위건휘%마군%왕승호
ZnO%硅微传声器%压电薄膜%微机电系统
ZnO%硅微傳聲器%壓電薄膜%微機電繫統
ZnO%규미전성기%압전박막%미궤전계통
本文介绍了一种利用ZnO压电薄膜为换能器的硅微压电薄膜传声器的制备,并且对微机械加工工艺过程进行了较为详细的描述.本文对传声器的部分结构进行改进,与通常设计相比较大幅提高了传声器的性能,1000Hz基准频率的灵敏度达到-85dB(相对于1V/Pa),500Hz到10000Hz的频率响应的平坦度在±3dB范围内.
本文介紹瞭一種利用ZnO壓電薄膜為換能器的硅微壓電薄膜傳聲器的製備,併且對微機械加工工藝過程進行瞭較為詳細的描述.本文對傳聲器的部分結構進行改進,與通常設計相比較大幅提高瞭傳聲器的性能,1000Hz基準頻率的靈敏度達到-85dB(相對于1V/Pa),500Hz到10000Hz的頻率響應的平坦度在±3dB範圍內.
본문개소료일충이용ZnO압전박막위환능기적규미압전박막전성기적제비,병차대미궤계가공공예과정진행료교위상세적묘술.본문대전성기적부분결구진행개진,여통상설계상비교대폭제고료전성기적성능,1000Hz기준빈솔적령민도체도-85dB(상대우1V/Pa),500Hz도10000Hz적빈솔향응적평탄도재±3dB범위내.
