金属热处理
金屬熱處理
금속열처리
HEAT TREATMENT OF METALS
2005年
5期
33-37
,共5页
Fe49Co49V2合金%直流磁控溅射%晶粒细化机理%氮
Fe49Co49V2閤金%直流磁控濺射%晶粒細化機理%氮
Fe49Co49V2합금%직류자공천사%정립세화궤리%담
利用永磁型阴极磁控溅射系统,以直流磁控方式在纯Ar气和Ar+N2气工作气氛中溅射制备了FeCoV薄膜,研究了Fe49Co49V2靶的厚度、N2/Ar流量比与沉积率之间的关系以及N2/Ar流量比对薄膜微观结构的影响.研究结果表明,该薄膜在低温抑制型模式下生长,晶粒大小主要决定于形核率和岛状微晶的生长,当工作气体中引入N2气后,具有活性的N原子与溅射原子一起沉积到薄膜生长表面,通过减缓或阻止微晶生长、接合,对FeCoV薄膜的晶粒起到了显著的细化作用.
利用永磁型陰極磁控濺射繫統,以直流磁控方式在純Ar氣和Ar+N2氣工作氣氛中濺射製備瞭FeCoV薄膜,研究瞭Fe49Co49V2靶的厚度、N2/Ar流量比與沉積率之間的關繫以及N2/Ar流量比對薄膜微觀結構的影響.研究結果錶明,該薄膜在低溫抑製型模式下生長,晶粒大小主要決定于形覈率和島狀微晶的生長,噹工作氣體中引入N2氣後,具有活性的N原子與濺射原子一起沉積到薄膜生長錶麵,通過減緩或阻止微晶生長、接閤,對FeCoV薄膜的晶粒起到瞭顯著的細化作用.
이용영자형음겁자공천사계통,이직류자공방식재순Ar기화Ar+N2기공작기분중천사제비료FeCoV박막,연구료Fe49Co49V2파적후도、N2/Ar류량비여침적솔지간적관계이급N2/Ar류량비대박막미관결구적영향.연구결과표명,해박막재저온억제형모식하생장,정립대소주요결정우형핵솔화도상미정적생장,당공작기체중인입N2기후,구유활성적N원자여천사원자일기침적도박막생장표면,통과감완혹조지미정생장、접합,대FeCoV박막적정립기도료현저적세화작용.
