传感技术学报
傳感技術學報
전감기술학보
Journal of Transduction Technology
2008年
2期
325-328
,共4页
张勇%郁元卫%贾世星%朱健%陈辰
張勇%鬱元衛%賈世星%硃健%陳辰
장용%욱원위%가세성%주건%진신
MEMS滤波器%耦合%基片集成波导%Ka波段
MEMS濾波器%耦閤%基片集成波導%Ka波段
MEMS려파기%우합%기편집성파도%Ka파단
滤波器是微波毫米波电路中的一个重要部件,本文介绍了采用基片集成波导技术和ICP深刻蚀微机械通孔阵列的硅基MEMS滤波器.设计制作了MEMS滤波器的核心部件谐振器,测试结果显示该谐振器无载Q值大于180,频率误差控制在2%以内.以此为基础采用理论计算与实验设计相结合的方法设计了一个Ka波段硅基MEMS滤波器.滤波器中心频率为30.3 GHz,插入损耗1.5 dB,相对带宽5%.芯片尺寸为10.0 mm×2.8 mm×0.4 mm.
濾波器是微波毫米波電路中的一箇重要部件,本文介紹瞭採用基片集成波導技術和ICP深刻蝕微機械通孔陣列的硅基MEMS濾波器.設計製作瞭MEMS濾波器的覈心部件諧振器,測試結果顯示該諧振器無載Q值大于180,頻率誤差控製在2%以內.以此為基礎採用理論計算與實驗設計相結閤的方法設計瞭一箇Ka波段硅基MEMS濾波器.濾波器中心頻率為30.3 GHz,插入損耗1.5 dB,相對帶寬5%.芯片呎吋為10.0 mm×2.8 mm×0.4 mm.
려파기시미파호미파전로중적일개중요부건,본문개소료채용기편집성파도기술화ICP심각식미궤계통공진렬적규기MEMS려파기.설계제작료MEMS려파기적핵심부건해진기,측시결과현시해해진기무재Q치대우180,빈솔오차공제재2%이내.이차위기출채용이론계산여실험설계상결합적방법설계료일개Ka파단규기MEMS려파기.려파기중심빈솔위30.3 GHz,삽입손모1.5 dB,상대대관5%.심편척촌위10.0 mm×2.8 mm×0.4 mm.
