功能材料与器件学报
功能材料與器件學報
공능재료여기건학보
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS AND DEVICES
2008年
2期
491-495
,共5页
叶嘉明%李明佳%庄金亮%周勇亮
葉嘉明%李明佳%莊金亮%週勇亮
협가명%리명가%장금량%주용량
微流控芯片%微细电解加工%玻璃芯片%微电极
微流控芯片%微細電解加工%玻璃芯片%微電極
미류공심편%미세전해가공%파리심편%미전겁
玻璃微流控芯片在许多领域已经得到较广泛的应用,但目前的加工需要繁琐的步骤及昂贵的设备进行图形转移及金属牺牲层开窗口.本文提出一种快速制作金属牺牲层图形窗口以用于玻璃微流控芯片加工的方法.以CO2激光直写加工PET膜模板,微细电解加工玻璃基片上的铬/金牺牲层快速获得窗口,湿法腐蚀及热键合制作玻璃微流控芯片.结果表明该法可在10秒内开窗口,电解加工过程使用的模板厚度、电解液组成及施加的压力与电压对窗口的质量都有显著影响.加工的微通道宽度为145μm,边缘整齐,宽度均匀,相对标准偏差为3.72%,深度μm,底部平整度高,并成功用于氨基酸混合液的芯片毛细管电泳分离.同时使用该方法加工的金微电极阵列,电极宽度为100μm,最小间距可达100μm.
玻璃微流控芯片在許多領域已經得到較廣汎的應用,但目前的加工需要繁瑣的步驟及昂貴的設備進行圖形轉移及金屬犧牲層開窗口.本文提齣一種快速製作金屬犧牲層圖形窗口以用于玻璃微流控芯片加工的方法.以CO2激光直寫加工PET膜模闆,微細電解加工玻璃基片上的鉻/金犧牲層快速穫得窗口,濕法腐蝕及熱鍵閤製作玻璃微流控芯片.結果錶明該法可在10秒內開窗口,電解加工過程使用的模闆厚度、電解液組成及施加的壓力與電壓對窗口的質量都有顯著影響.加工的微通道寬度為145μm,邊緣整齊,寬度均勻,相對標準偏差為3.72%,深度μm,底部平整度高,併成功用于氨基痠混閤液的芯片毛細管電泳分離.同時使用該方法加工的金微電極陣列,電極寬度為100μm,最小間距可達100μm.
파리미류공심편재허다영역이경득도교엄범적응용,단목전적가공수요번쇄적보취급앙귀적설비진행도형전이급금속희생층개창구.본문제출일충쾌속제작금속희생층도형창구이용우파리미류공심편가공적방법.이CO2격광직사가공PET막모판,미세전해가공파리기편상적락/금희생층쾌속획득창구,습법부식급열건합제작파리미류공심편.결과표명해법가재10초내개창구,전해가공과정사용적모판후도、전해액조성급시가적압력여전압대창구적질량도유현저영향.가공적미통도관도위145μm,변연정제,관도균균,상대표준편차위3.72%,심도μm,저부평정도고,병성공용우안기산혼합액적심편모세관전영분리.동시사용해방법가공적금미전겁진렬,전겁관도위100μm,최소간거가체100μm.
