南昌大学学报（工科版）
南昌大學學報（工科版）
남창대학학보（공과판）
JOURNAL OF NANCHANG UNIVERSITY ENGINEERING & TECHNOLOGY EDITION
2008年
2期
138-141
,共4页
朱秀榕%赖珍荃%蒋雅雅%范定寰
硃秀榕%賴珍荃%蔣雅雅%範定寰
주수용%뢰진전%장아아%범정환
氮化钛薄膜%磁控溅射%氮气流量
氮化鈦薄膜%磁控濺射%氮氣流量
담화태박막%자공천사%담기류량
采用直流磁控溅射法,在Si基底上制备TiNx薄膜.研究了溅射沉积过程中氮气流量对TiNx薄膜生长及性能的影响.研究发现:在其它工艺参数不变的情况下,改变N2流量,薄膜的主要成分是(110)择优取向的四方相Ti2N.随着N2流量的增加,薄膜的厚度逐渐增加,薄膜粗糙度、颗粒尺寸和电阻率先减小后变大.
採用直流磁控濺射法,在Si基底上製備TiNx薄膜.研究瞭濺射沉積過程中氮氣流量對TiNx薄膜生長及性能的影響.研究髮現:在其它工藝參數不變的情況下,改變N2流量,薄膜的主要成分是(110)擇優取嚮的四方相Ti2N.隨著N2流量的增加,薄膜的厚度逐漸增加,薄膜粗糙度、顆粒呎吋和電阻率先減小後變大.
채용직류자공천사법,재Si기저상제비TiNx박막.연구료천사침적과정중담기류량대TiNx박막생장급성능적영향.연구발현:재기타공예삼수불변적정황하,개변N2류량,박막적주요성분시(110)택우취향적사방상Ti2N.수착N2류량적증가,박막적후도축점증가,박막조조도、과립척촌화전조솔선감소후변대.
