半导体技术
半導體技術
반도체기술
SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY
2009年
10期
994-997
,共4页
苏凤莲%芮志贤%陈险峰%王玉科%郭强%简维廷
囌鳳蓮%芮誌賢%陳險峰%王玉科%郭彊%簡維廷
소봉련%예지현%진험봉%왕옥과%곽강%간유정
失效分析%晶圆验收测试%金属互连电阻
失效分析%晶圓驗收測試%金屬互連電阻
실효분석%정원험수측시%금속호련전조
晶圆的失效分析在集成电路制造中起着十分重要的作用.通过对器件的失效分析,可确定器件的失效机理,并及时改善工艺.阐述了WAT(晶圆验收测试)中金属互连电阻(Rc)失效分析的优化流程.根据不同的金属互连电阻失效模型,如阻值偏低、阻值偏高以及断路,选择合适的失效分析方法,从而可以快速准确地揭示器件金属互连电阻失效的根本原因.
晶圓的失效分析在集成電路製造中起著十分重要的作用.通過對器件的失效分析,可確定器件的失效機理,併及時改善工藝.闡述瞭WAT(晶圓驗收測試)中金屬互連電阻(Rc)失效分析的優化流程.根據不同的金屬互連電阻失效模型,如阻值偏低、阻值偏高以及斷路,選擇閤適的失效分析方法,從而可以快速準確地揭示器件金屬互連電阻失效的根本原因.
정원적실효분석재집성전로제조중기착십분중요적작용.통과대기건적실효분석,가학정기건적실효궤리,병급시개선공예.천술료WAT(정원험수측시)중금속호련전조(Rc)실효분석적우화류정.근거불동적금속호련전조실효모형,여조치편저、조치편고이급단로,선택합괄적실효분석방법,종이가이쾌속준학지게시기건금속호련전조실효적근본원인.
