真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2011年
2期
187-193
,共7页
李西兵%郭建华%王世刚%石志民%姜辉%娄晓钟%张红霞
李西兵%郭建華%王世剛%石誌民%薑輝%婁曉鐘%張紅霞
리서병%곽건화%왕세강%석지민%강휘%루효종%장홍하
烧结式微热管%抽真空%工质灌注%工质冻结%冷焊%二次除气
燒結式微熱管%抽真空%工質灌註%工質凍結%冷銲%二次除氣
소결식미열관%추진공%공질관주%공질동결%랭한%이차제기
目前微电子与光电子芯片对散热要求日益增高,烧结式微热管已经成为其理想的散热元件,对微热管进行快速抽真空,使微热管中的工质量与真空度符合要求,是决定其制造质量与成本的重要因素.通过对微热管的工作原理及其抽真空-工质灌注-冷焊的制造方法进行分析,提出一种分别采用工质冻结-抽真空-冷焊法与二次除气-冷焊法对烧结式微热管进行抽真空的方法.大量的实验表明,采用所提出的制造方法不仅可以保证微热管中工质量与真空度达到要求,而且抽真空的时间大约比原有方法节省了2/3,具有很好的传热性能.
目前微電子與光電子芯片對散熱要求日益增高,燒結式微熱管已經成為其理想的散熱元件,對微熱管進行快速抽真空,使微熱管中的工質量與真空度符閤要求,是決定其製造質量與成本的重要因素.通過對微熱管的工作原理及其抽真空-工質灌註-冷銲的製造方法進行分析,提齣一種分彆採用工質凍結-抽真空-冷銲法與二次除氣-冷銲法對燒結式微熱管進行抽真空的方法.大量的實驗錶明,採用所提齣的製造方法不僅可以保證微熱管中工質量與真空度達到要求,而且抽真空的時間大約比原有方法節省瞭2/3,具有很好的傳熱性能.
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