压电与声光
壓電與聲光
압전여성광
PIEZOELECTRICS & ACOUSTOOPTICS
2004年
2期
119-121
,共3页
胡少六%江超%龙华%王又青
鬍少六%江超%龍華%王又青
호소륙%강초%룡화%왕우청
脉冲激光沉积%AZO薄膜%双靶
脈遲激光沉積%AZO薄膜%雙靶
맥충격광침적%AZO박막%쌍파
介绍了利用锌靶和铝靶在氧气气氛中进行掺铝氧化锌(AZO)透明导电薄膜的脉冲激光沉积(PLD)新方法,并与利用ZnO陶瓷靶沉积AZO薄膜的方法进行了对比,分析了此方法的优势和特点.描述了利用该方法在玻璃和硅片上沉积AZO薄膜的实验过程.通过透射光谱分析了沉积的透明导电膜在可见光区的透射性能,用X-射线衍射谱(XRD)研究了薄膜的结构.
介紹瞭利用鋅靶和鋁靶在氧氣氣氛中進行摻鋁氧化鋅(AZO)透明導電薄膜的脈遲激光沉積(PLD)新方法,併與利用ZnO陶瓷靶沉積AZO薄膜的方法進行瞭對比,分析瞭此方法的優勢和特點.描述瞭利用該方法在玻璃和硅片上沉積AZO薄膜的實驗過程.通過透射光譜分析瞭沉積的透明導電膜在可見光區的透射性能,用X-射線衍射譜(XRD)研究瞭薄膜的結構.
개소료이용자파화려파재양기기분중진행참려양화자(AZO)투명도전박막적맥충격광침적(PLD)신방법,병여이용ZnO도자파침적AZO박막적방법진행료대비,분석료차방법적우세화특점.묘술료이용해방법재파리화규편상침적AZO박막적실험과정.통과투사광보분석료침적적투명도전막재가견광구적투사성능,용X-사선연사보(XRD)연구료박막적결구.
