清华大学学报(自然科学版)
清華大學學報(自然科學版)
청화대학학보(자연과학판)
Journal of Tsinghua University
2004年
9期
1277-1281
,共5页
超大规模集成电路%互连电阻%三维提取%解析与边界元%耦合
超大規模集成電路%互連電阻%三維提取%解析與邊界元%耦閤
초대규모집성전로%호련전조%삼유제취%해석여변계원%우합
随着深亚微米工艺的广泛应用,互连结构日趋复杂,现有的互连电阻二维提取已难满足精度要求.该文提出三维解析与边界元耦合提取方法,它非均匀地切割互连线,对直线段用解析公式计算,对有复杂连接关系的线段用改进边界元法计算,再将两者耦合成整体电阻.对版图实例的实验表明,与商业软件Raphael相比,该方法有2～3个数量级的加速比,使用的内存是商业软件的0.1%～1%, 精度比默认网格划分时的Raphael还要高,证实该方法是快速精确的.
隨著深亞微米工藝的廣汎應用,互連結構日趨複雜,現有的互連電阻二維提取已難滿足精度要求.該文提齣三維解析與邊界元耦閤提取方法,它非均勻地切割互連線,對直線段用解析公式計算,對有複雜連接關繫的線段用改進邊界元法計算,再將兩者耦閤成整體電阻.對版圖實例的實驗錶明,與商業軟件Raphael相比,該方法有2～3箇數量級的加速比,使用的內存是商業軟件的0.1%～1%, 精度比默認網格劃分時的Raphael還要高,證實該方法是快速精確的.
수착심아미미공예적엄범응용,호련결구일추복잡,현유적호련전조이유제취이난만족정도요구.해문제출삼유해석여변계원우합제취방법,타비균균지절할호련선,대직선단용해석공식계산,대유복잡련접관계적선단용개진변계원법계산,재장량자우합성정체전조.대판도실례적실험표명,여상업연건Raphael상비,해방법유2～3개수량급적가속비,사용적내존시상업연건적0.1%～1%, 정도비묵인망격화분시적Raphael환요고,증실해방법시쾌속정학적.
