材料导报
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재료도보
MATERIALS REVIEW
2007年
5期
135-137
,共3页
ZAO薄膜%直流反应磁控溅射%气流场强度%电导率%透射率
ZAO薄膜%直流反應磁控濺射%氣流場彊度%電導率%透射率
ZAO박막%직류반응자공천사%기류장강도%전도솔%투사솔
用含2%Al的Zn/Al合金靶材,在不同气流场强度下使用直流反应磁控溅射法在玻璃衬底上制备了ZAO(ZnO:Al)透明导电薄膜样品.定义气流场强度等于总气流量除以总气压.结果表明:气流场强度的大小对ZAO薄膜的表面形貌和电导率有较大影响,对可见光的透射率影响不大.在Ar气压强为0.3Pa,流量为22sccm,O2气压强为0.08Pa,流量为10sccm,气流场强度约为84sccm/Pa时制备ZAO薄膜的最低电阻率为4.2×10-4Ω·cm,可见光透射率为90%.
用含2%Al的Zn/Al閤金靶材,在不同氣流場彊度下使用直流反應磁控濺射法在玻璃襯底上製備瞭ZAO(ZnO:Al)透明導電薄膜樣品.定義氣流場彊度等于總氣流量除以總氣壓.結果錶明:氣流場彊度的大小對ZAO薄膜的錶麵形貌和電導率有較大影響,對可見光的透射率影響不大.在Ar氣壓彊為0.3Pa,流量為22sccm,O2氣壓彊為0.08Pa,流量為10sccm,氣流場彊度約為84sccm/Pa時製備ZAO薄膜的最低電阻率為4.2×10-4Ω·cm,可見光透射率為90%.
용함2%Al적Zn/Al합금파재,재불동기류장강도하사용직류반응자공천사법재파리츤저상제비료ZAO(ZnO:Al)투명도전박막양품.정의기류장강도등우총기류량제이총기압.결과표명:기류장강도적대소대ZAO박막적표면형모화전도솔유교대영향,대가견광적투사솔영향불대.재Ar기압강위0.3Pa,류량위22sccm,O2기압강위0.08Pa,류량위10sccm,기류장강도약위84sccm/Pa시제비ZAO박막적최저전조솔위4.2×10-4Ω·cm,가견광투사솔위90%.
