隧穿型量子效应薄膜材料制备技术
수천형양자효응박막재료제비기술
Growth Technologies of Resonant Tunneling Thin Films
  • 万方数据
    真空科学与技术学报 진공과학여기술학보
    JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
    2007年 z1期 15-17 ,共3页

    商耀辉%武一宾%卜夏正%牛晨亮%王建峰%李亚丽%张雄文

    상요휘%무일빈%복하정%우신량%왕건봉%리아려%장웅문

    分子束外延%共振隧穿二极管%量子隧穿效应 分子束外延%共振隧穿二極管%量子隧穿效應
    분자속외연%공진수천이겁관%양자수천효응
    探讨了隧穿型量子效应薄膜材料制备技术,并应用分子束外延方法制备了典型结构外延材料GaAs基共振隧穿二极管,经过器件验证,得到了较好的结果.重点讨论了关键制备技术,包括束流精细控制和间歇式生长方式,主要是为了生长出更接近完美的晶体结构和晶体表面,并分析了测试结果和器件验证结果,最终得出整套隧穿型量子效应薄膜材料制备技术.
    탐토료수천형양자효응박막재료제비기술,병응용분자속외연방법제비료전형결구외연재료GaAs기공진수천이겁관,경과기건험증,득도료교호적결과.중점토론료관건제비기술,포괄속류정세공제화간헐식생장방식,주요시위료생장출경접근완미적정체결구화정체표면,병분석료측시결과화기건험증결과,최종득출정투수천형양자효응박막재료제비기술.
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