北京航空航天大学学报
北京航空航天大學學報
북경항공항천대학학보
2008年
4期
412-416
,共5页
化学气相沉积%金刚石%抛光%高速%实验
化學氣相沉積%金剛石%拋光%高速%實驗
화학기상침적%금강석%포광%고속%실험
利用高速热铁盘抛光设备对化学气相沉积(CVD,Chemical Vapor Deposi-tion) 金刚石进行抛光,分别进行温度、转速、压力以及抛光时间的实验.采用光学天平对抛光前后金刚石称重对比,采用工具显微镜和原子力显微镜对抛光后表面进行研究.结果表明:较高的抛光速度对提高表面质量以及抛光效率均比较有利.在抛光温度 850 ℃,速度164 mm/s,压力 24.892 N 的条件下,抛光 120 min 后,金刚石表面的粗糙度由原来的R<,a>=9.67μm下降到R<,a>=0.016 μm.原子力显微镜显示,抛光表面存在少数高度在60～70 nm之间的突峰,其高度是普通峰高的2～3倍,且峰的形状呈现出一定的方向性.这种表面微观规律与抛光时采用的直压式运动方式有关.
利用高速熱鐵盤拋光設備對化學氣相沉積(CVD,Chemical Vapor Deposi-tion) 金剛石進行拋光,分彆進行溫度、轉速、壓力以及拋光時間的實驗.採用光學天平對拋光前後金剛石稱重對比,採用工具顯微鏡和原子力顯微鏡對拋光後錶麵進行研究.結果錶明:較高的拋光速度對提高錶麵質量以及拋光效率均比較有利.在拋光溫度 850 ℃,速度164 mm/s,壓力 24.892 N 的條件下,拋光 120 min 後,金剛石錶麵的粗糙度由原來的R<,a>=9.67μm下降到R<,a>=0.016 μm.原子力顯微鏡顯示,拋光錶麵存在少數高度在60～70 nm之間的突峰,其高度是普通峰高的2～3倍,且峰的形狀呈現齣一定的方嚮性.這種錶麵微觀規律與拋光時採用的直壓式運動方式有關.
이용고속열철반포광설비대화학기상침적(CVD,Chemical Vapor Deposi-tion) 금강석진행포광,분별진행온도、전속、압력이급포광시간적실험.채용광학천평대포광전후금강석칭중대비,채용공구현미경화원자력현미경대포광후표면진행연구.결과표명:교고적포광속도대제고표면질량이급포광효솔균비교유리.재포광온도 850 ℃,속도164 mm/s,압력 24.892 N 적조건하,포광 120 min 후,금강석표면적조조도유원래적R<,a>=9.67μm하강도R<,a>=0.016 μm.원자력현미경현시,포광표면존재소수고도재60～70 nm지간적돌봉,기고도시보통봉고적2～3배,차봉적형상정현출일정적방향성.저충표면미관규률여포광시채용적직압식운동방식유관.
