CAJ | 학술논문

将均质多层膜系设计中的缓冲层概念引入到反射导模共振滤光片的设计中,以研究缓冲层的增加对导模共振滤光片反射光谱特性的影响.设计并通过严格的耦合波理论计算了一、二、三、四通道导模共振反射滤光片光谱特性.在膜系设计中增加缓冲层后.随着其厚度的逐渐增加.反射光谱中依次出现二、三、四个窄带反射峰;缓冲层厚度为796.35 nm时.当滤光片光栅层占空比在0.2～O.9范围内、光栅深度在100～200 nm变化时,共振峰的位置、反射率峰值高度几乎不变,保持了很好的多通道滤光片特性.
장균질다층막계설계중적완충층개념인입도반사도모공진려광편적설계중,이연구완충층적증가대도모공진려광편반사광보특성적영향.설계병통과엄격적우합파이론계산료일、이、삼、사통도도모공진반사려광편광보특성.재막계설계중증가완충층후.수착기후도적축점증가.반사광보중의차출현이、삼、사개착대반사봉;완충층후도위796.35 nm시.당려광편광책층점공비재0.2～O.9범위내、광책심도재100～200 nm변화시,공진봉적위치、반사솔봉치고도궤호불변,보지료흔호적다통도려광편특성.