红外技术
紅外技術
홍외기술
INFRARED TECHNOLOGY
2009年
6期
334-336,341
,共4页
袁俊%太云见%李龙%秦强%魏虹%任华
袁俊%太雲見%李龍%秦彊%魏虹%任華
원준%태운견%리룡%진강%위홍%임화
氧化钒%非制冷红外探测器%离子束增强沉积
氧化釩%非製冷紅外探測器%離子束增彊沉積
양화범%비제랭홍외탐측기%리자속증강침적
氧化钒薄膜由于其具有高电阻温度系数(TCR),近年来被广泛应用于非制冷红外探测器.利用离子束增强沉积法,通过精确控制溅射电压、退火温度优化了氧化钒的制备工艺,制备出的氧化钒薄膜电阻为40kΩ、TCR为-2.5%K-1,满足非制冷焦平面探测器氧化钒薄膜的应用的要求.
氧化釩薄膜由于其具有高電阻溫度繫數(TCR),近年來被廣汎應用于非製冷紅外探測器.利用離子束增彊沉積法,通過精確控製濺射電壓、退火溫度優化瞭氧化釩的製備工藝,製備齣的氧化釩薄膜電阻為40kΩ、TCR為-2.5%K-1,滿足非製冷焦平麵探測器氧化釩薄膜的應用的要求.
양화범박막유우기구유고전조온도계수(TCR),근년래피엄범응용우비제랭홍외탐측기.이용리자속증강침적법,통과정학공제천사전압、퇴화온도우화료양화범적제비공예,제비출적양화범박막전조위40kΩ、TCR위-2.5%K-1,만족비제랭초평면탐측기양화범박막적응용적요구.
