吉林大学学报（理学版）
吉林大學學報（理學版）
길림대학학보（이학판）
JOURNAL OF JILIN UNIVERSITY(SCIENCE EDITION)
2011年
1期
125-130
,共6页
贾辉%韩莉%孙淑晶%孙光东%赵翠梅%王欣
賈輝%韓莉%孫淑晶%孫光東%趙翠梅%王訢
가휘%한리%손숙정%손광동%조취매%왕흔
FeCoN薄膜%α″-(Fe,Co)16N2%饱和磁化强度%矫顽力
FeCoN薄膜%α″-(Fe,Co)16N2%飽和磁化彊度%矯頑力
FeCoN박막%α″-(Fe,Co)16N2%포화자화강도%교완력
利用改进后的对靶磁控溅射系统,以N2/Ar混合气体为溅射气体,在未加热的Si(111)衬底上沉积FeCoN薄膜.采用X射线衍射仪(XRD)、透射电子显微镜(TEM)、扫描电子显微镜(SEM)和超导量子干涉仪(SQUID)研究不同Co靶溅射功率对FeCoN薄膜样品的结构、形貌和磁性性能的影响.结果表明:固定Fe靶功率为160 W(电流I=0.4 A),当Co靶功率为2.4 W(I=0.04 A)时,薄膜由Co溶入ε-Fe3N中形成的ε-(Fe,Co)3N化合物相构成;当Co靶功率为58 W(I=0.2 A)时,获得了Fe3N/Co3N化合物相,薄膜的饱和磁化强度(Ms)为151.47 A·m2/kg,矫顽力(Hc)为3.68 kA/m;当Co靶功率为11.9 W(I=0.07 A)时,制备出具有高饱和磁化强度的α″-(Fe,Co)16N2化合物相,薄膜的Ms=265.08 A·m2/kg,Hc=8.24 kA/m.
利用改進後的對靶磁控濺射繫統,以N2/Ar混閤氣體為濺射氣體,在未加熱的Si(111)襯底上沉積FeCoN薄膜.採用X射線衍射儀(XRD)、透射電子顯微鏡(TEM)、掃描電子顯微鏡(SEM)和超導量子榦涉儀(SQUID)研究不同Co靶濺射功率對FeCoN薄膜樣品的結構、形貌和磁性性能的影響.結果錶明:固定Fe靶功率為160 W(電流I=0.4 A),噹Co靶功率為2.4 W(I=0.04 A)時,薄膜由Co溶入ε-Fe3N中形成的ε-(Fe,Co)3N化閤物相構成;噹Co靶功率為58 W(I=0.2 A)時,穫得瞭Fe3N/Co3N化閤物相,薄膜的飽和磁化彊度(Ms)為151.47 A·m2/kg,矯頑力(Hc)為3.68 kA/m;噹Co靶功率為11.9 W(I=0.07 A)時,製備齣具有高飽和磁化彊度的α″-(Fe,Co)16N2化閤物相,薄膜的Ms=265.08 A·m2/kg,Hc=8.24 kA/m.
이용개진후적대파자공천사계통,이N2/Ar혼합기체위천사기체,재미가열적Si(111)츤저상침적FeCoN박막.채용X사선연사의(XRD)、투사전자현미경(TEM)、소묘전자현미경(SEM)화초도양자간섭의(SQUID)연구불동Co파천사공솔대FeCoN박막양품적결구、형모화자성성능적영향.결과표명:고정Fe파공솔위160 W(전류I=0.4 A),당Co파공솔위2.4 W(I=0.04 A)시,박막유Co용입ε-Fe3N중형성적ε-(Fe,Co)3N화합물상구성;당Co파공솔위58 W(I=0.2 A)시,획득료Fe3N/Co3N화합물상,박막적포화자화강도(Ms)위151.47 A·m2/kg,교완력(Hc)위3.68 kA/m;당Co파공솔위11.9 W(I=0.07 A)시,제비출구유고포화자화강도적α″-(Fe,Co)16N2화합물상,박막적Ms=265.08 A·m2/kg,Hc=8.24 kA/m.
