材料开发与应用
材料開髮與應用
재료개발여응용
DEVELOPMENT AND APPLICATION OF MATERIALS
2012年
2期
44-46
,共3页
张雪凤%常鹏北%彭晖%刘冠鹏
張雪鳳%常鵬北%彭暉%劉冠鵬
장설봉%상붕북%팽휘%류관붕
ITO废靶%直流电弧法%回收%ITO粉末
ITO廢靶%直流電弧法%迴收%ITO粉末
ITO폐파%직류전호법%회수%ITO분말
本文提出一种新型的ITO废靶回收技术,采用直流电弧法将ITO废靶气化制成纳米ITO粉末,实现废靶的回收.借助XRD(X射线衍射)和TEM(透射电子显微镜)等技术对粉末进行表征,发现经回收制备的ITO粉末为单一的立方In2O3结构,颗粒多以四方和类球形两种形貌存在,粒度尺寸在5- 200nm范围内.
本文提齣一種新型的ITO廢靶迴收技術,採用直流電弧法將ITO廢靶氣化製成納米ITO粉末,實現廢靶的迴收.藉助XRD(X射線衍射)和TEM(透射電子顯微鏡)等技術對粉末進行錶徵,髮現經迴收製備的ITO粉末為單一的立方In2O3結構,顆粒多以四方和類毬形兩種形貌存在,粒度呎吋在5- 200nm範圍內.
본문제출일충신형적ITO폐파회수기술,채용직류전호법장ITO폐파기화제성납미ITO분말,실현폐파적회수.차조XRD(X사선연사)화TEM(투사전자현미경)등기술대분말진행표정,발현경회수제비적ITO분말위단일적립방In2O3결구,과립다이사방화류구형량충형모존재,립도척촌재5- 200nm범위내.
