材料导报
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재료도보
MATERIALS REVIEW
2011年
22期
70-73
,共4页
季鑫%宓一呜%张朝民%周细应%赵新新%言智%周有余
季鑫%宓一嗚%張朝民%週細應%趙新新%言智%週有餘
계흠%복일오%장조민%주세응%조신신%언지%주유여
TaMo涂层%基底温度%腐蚀%表面形貌
TaMo塗層%基底溫度%腐蝕%錶麵形貌
TaMo도층%기저온도%부식%표면형모
通过磁控溅射法在硅基材上制备了不同基底温度的TaMo和TaMoN涂层,采用原子力显微镜(AFM)和X射线衍射仪(XRD)研究了在第三组元N加入的情况下TaMo涂层的表面形貌和组织结构,采用CHI电化学分析仪分析了涂层的耐腐蚀性能,并分别对涂层进行了1000℃+300h高温氧化性能试验.实验结果表明,两种基底温度工艺下氮元素的加入对TaMo涂层的组织结构和表面形貌均有显著影响.另外,氮元素的加入可以提高TaMo涂层的耐腐蚀性能,但对TaMo涂层的耐高温性能没有改善.
通過磁控濺射法在硅基材上製備瞭不同基底溫度的TaMo和TaMoN塗層,採用原子力顯微鏡(AFM)和X射線衍射儀(XRD)研究瞭在第三組元N加入的情況下TaMo塗層的錶麵形貌和組織結構,採用CHI電化學分析儀分析瞭塗層的耐腐蝕性能,併分彆對塗層進行瞭1000℃+300h高溫氧化性能試驗.實驗結果錶明,兩種基底溫度工藝下氮元素的加入對TaMo塗層的組織結構和錶麵形貌均有顯著影響.另外,氮元素的加入可以提高TaMo塗層的耐腐蝕性能,但對TaMo塗層的耐高溫性能沒有改善.
통과자공천사법재규기재상제비료불동기저온도적TaMo화TaMoN도층,채용원자력현미경(AFM)화X사선연사의(XRD)연구료재제삼조원N가입적정황하TaMo도층적표면형모화조직결구,채용CHI전화학분석의분석료도층적내부식성능,병분별대도층진행료1000℃+300h고온양화성능시험.실험결과표명,량충기저온도공예하담원소적가입대TaMo도층적조직결구화표면형모균유현저영향.령외,담원소적가입가이제고TaMo도층적내부식성능,단대TaMo도층적내고온성능몰유개선.
