电子技术
電子技術
전자기술
ELECTRONIC TECHNOLOGY
2010年
12期
79-80,78
,共3页
MOEMS%自组装%微镜面%有限元分析
MOEMS%自組裝%微鏡麵%有限元分析
MOEMS%자조장%미경면%유한원분석
MOEMS在很多领域有着潜在的应用,然而制作三维MOEMS是一个很复杂的过程.利用晶格失配的外延层自组装制作三维微纳米结构是一种很有发展前景的方法.该方法主要应用由于应变层中品格常数不同而带来的应变效应.利用这种技术可以完成在同一平台上自组装不同元件,在MOEMS中有广阔的应用前景.我们分析了该技术存在的问题并对今后发展前景进行了展望.
MOEMS在很多領域有著潛在的應用,然而製作三維MOEMS是一箇很複雜的過程.利用晶格失配的外延層自組裝製作三維微納米結構是一種很有髮展前景的方法.該方法主要應用由于應變層中品格常數不同而帶來的應變效應.利用這種技術可以完成在同一平檯上自組裝不同元件,在MOEMS中有廣闊的應用前景.我們分析瞭該技術存在的問題併對今後髮展前景進行瞭展望.
MOEMS재흔다영역유착잠재적응용,연이제작삼유MOEMS시일개흔복잡적과정.이용정격실배적외연층자조장제작삼유미납미결구시일충흔유발전전경적방법.해방법주요응용유우응변층중품격상수불동이대래적응변효응.이용저충기술가이완성재동일평태상자조장불동원건,재MOEMS중유엄활적응용전경.아문분석료해기술존재적문제병대금후발전전경진행료전망.
