电子科技
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전자과기
IT AGE
2009年
10期
40-42
,共3页
微加工%微压阻式加速度传感器%有限元分析%硅
微加工%微壓阻式加速度傳感器%有限元分析%硅
미가공%미압조식가속도전감기%유한원분석%규
随着硅微机械加工技术(MEMS)的快速发展,各种基于MEMS技术的器件应运而生.文中首先对传感器结构及工作原理进行了简单介绍,给出了一种基于MEMS技术制作的压阻式硅微加速度传感器的结构和工艺,并对制作的加速度传感器样品进行了动态测试,测试结果表明实验与理论设计值相符.
隨著硅微機械加工技術(MEMS)的快速髮展,各種基于MEMS技術的器件應運而生.文中首先對傳感器結構及工作原理進行瞭簡單介紹,給齣瞭一種基于MEMS技術製作的壓阻式硅微加速度傳感器的結構和工藝,併對製作的加速度傳感器樣品進行瞭動態測試,測試結果錶明實驗與理論設計值相符.
수착규미궤계가공기술(MEMS)적쾌속발전,각충기우MEMS기술적기건응운이생.문중수선대전감기결구급공작원리진행료간단개소,급출료일충기우MEMS기술제작적압조식규미가속도전감기적결구화공예,병대제작적가속도전감기양품진행료동태측시,측시결과표명실험여이론설계치상부.
