精密制造与自动化
精密製造與自動化
정밀제조여자동화
PRECISE MANAFACTURING & AUTOMATION
2009年
1期
33-35
,共3页
直线型超声波电动机%超精密%单边双足振子
直線型超聲波電動機%超精密%單邊雙足振子
직선형초성파전동궤%초정밀%단변쌍족진자
阐述了由纵弯振子驱动的超精密直线位移实验平台,在实验平台上安装了微动机构,其位移通过高精密的传感器进行检测.通过纵弯振子直线型超声波电动机的驱动原理及结构特点,分析了预压力和激振频率对其性能的影响.提出了通过控制微型滑块的运动实现更高精度定位的方法.
闡述瞭由縱彎振子驅動的超精密直線位移實驗平檯,在實驗平檯上安裝瞭微動機構,其位移通過高精密的傳感器進行檢測.通過縱彎振子直線型超聲波電動機的驅動原理及結構特點,分析瞭預壓力和激振頻率對其性能的影響.提齣瞭通過控製微型滑塊的運動實現更高精度定位的方法.
천술료유종만진자구동적초정밀직선위이실험평태,재실험평태상안장료미동궤구,기위이통과고정밀적전감기진행검측.통과종만진자직선형초성파전동궤적구동원리급결구특점,분석료예압력화격진빈솔대기성능적영향.제출료통과공제미형활괴적운동실현경고정도정위적방법.
