红外与激光工程
紅外與激光工程
홍외여격광공정
INFRARED AND LASER ENGINEERING
2009年
1期
110-113
,共4页
刘贱平%梁丽萍%金世龙%刘光灿
劉賤平%樑麗萍%金世龍%劉光燦
류천평%량려평%금세룡%류광찬
大曲率球面面形检测%空间载频外差干涉术%Zernike多项式
大麯率毬麵麵形檢測%空間載頻外差榦涉術%Zernike多項式
대곡솔구면면형검측%공간재빈외차간섭술%Zernike다항식
光学零件表面面形检测的结果直接影响光学零件的质量,介绍了一种在平面干涉仪上检测大曲率球面光学零件面形的方法,通过对干涉图进行预处理、FFT提取相位、解包裹,并采用Zernike多项式拟合,得到被检球面相对平面的面形函数,与指定的球面相减后,再一次进行Zernike多项式拟合,得到了被检面相对于指定球面的面形函数,由此计算出被检球面的面形误差PV值、RMS值,N与ΔN,并模拟出了用球面干涉仪检测时的干涉条纹.该方法克服了接触检测的缺点,精度高,PV值的标准差σ优于λ/100,RMS值的标准差σ优于λ/700,而且可通过软件设定检测任意大曲率光学零件,为大曲率半径光学零件的检测提供了一种适用的方法.
光學零件錶麵麵形檢測的結果直接影響光學零件的質量,介紹瞭一種在平麵榦涉儀上檢測大麯率毬麵光學零件麵形的方法,通過對榦涉圖進行預處理、FFT提取相位、解包裹,併採用Zernike多項式擬閤,得到被檢毬麵相對平麵的麵形函數,與指定的毬麵相減後,再一次進行Zernike多項式擬閤,得到瞭被檢麵相對于指定毬麵的麵形函數,由此計算齣被檢毬麵的麵形誤差PV值、RMS值,N與ΔN,併模擬齣瞭用毬麵榦涉儀檢測時的榦涉條紋.該方法剋服瞭接觸檢測的缺點,精度高,PV值的標準差σ優于λ/100,RMS值的標準差σ優于λ/700,而且可通過軟件設定檢測任意大麯率光學零件,為大麯率半徑光學零件的檢測提供瞭一種適用的方法.
광학령건표면면형검측적결과직접영향광학령건적질량,개소료일충재평면간섭의상검측대곡솔구면광학령건면형적방법,통과대간섭도진행예처리、FFT제취상위、해포과,병채용Zernike다항식의합,득도피검구면상대평면적면형함수,여지정적구면상감후,재일차진행Zernike다항식의합,득도료피검면상대우지정구면적면형함수,유차계산출피검구면적면형오차PV치、RMS치,N여ΔN,병모의출료용구면간섭의검측시적간섭조문.해방법극복료접촉검측적결점,정도고,PV치적표준차σ우우λ/100,RMS치적표준차σ우우λ/700,이차가통과연건설정검측임의대곡솔광학령건,위대곡솔반경광학령건적검측제공료일충괄용적방법.
