电子技术应用
電子技術應用
전자기술응용
APPLICATION OF ELECTRONIC TECHNIQUE
2008年
10期
146-150
,共5页
热超声倒装%视觉定位%误差分析
熱超聲倒裝%視覺定位%誤差分析
열초성도장%시각정위%오차분석
简要说明了视觉定位原理及定位实验数据的采集过程,并对倒装键合实验台的视觉定位系统的误差进行了理论分析.以热超声倒装键合实验台为平台,应用HexSight图像处理软件,对实验用1mm×1mm的表面有8个凸点的芯片进行定位实验.根据测得的实验结果,分别对定位系统的平移误差和旋转误差进行了分析.采用对5次识别结果取平均值的优化方法,使角度误差减小到0.023766.,单项误差减小到0.183μm,综合误差减小到0.554μm.试验结果表明,该视觉定位系统达到了热超声倒装键合过程中芯片与基板之间的定位精度的要求.
簡要說明瞭視覺定位原理及定位實驗數據的採集過程,併對倒裝鍵閤實驗檯的視覺定位繫統的誤差進行瞭理論分析.以熱超聲倒裝鍵閤實驗檯為平檯,應用HexSight圖像處理軟件,對實驗用1mm×1mm的錶麵有8箇凸點的芯片進行定位實驗.根據測得的實驗結果,分彆對定位繫統的平移誤差和鏇轉誤差進行瞭分析.採用對5次識彆結果取平均值的優化方法,使角度誤差減小到0.023766.,單項誤差減小到0.183μm,綜閤誤差減小到0.554μm.試驗結果錶明,該視覺定位繫統達到瞭熱超聲倒裝鍵閤過程中芯片與基闆之間的定位精度的要求.
간요설명료시각정위원리급정위실험수거적채집과정,병대도장건합실험태적시각정위계통적오차진행료이론분석.이열초성도장건합실험태위평태,응용HexSight도상처리연건,대실험용1mm×1mm적표면유8개철점적심편진행정위실험.근거측득적실험결과,분별대정위계통적평이오차화선전오차진행료분석.채용대5차식별결과취평균치적우화방법,사각도오차감소도0.023766.,단항오차감소도0.183μm,종합오차감소도0.554μm.시험결과표명,해시각정위계통체도료열초성도장건합과정중심편여기판지간적정위정도적요구.
