功能材料与器件学报
功能材料與器件學報
공능재료여기건학보
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS AND DEVICES
2008年
6期
1039-1043
,共5页
彭平%廖广兰%汤自荣%史铁林%林晓辉%刘世元
彭平%廖廣蘭%湯自榮%史鐵林%林曉輝%劉世元
팽평%료엄란%탕자영%사철림%림효휘%류세원
血细胞计数器%微流管道%低温直接键合
血細胞計數器%微流管道%低溫直接鍵閤
혈세포계수기%미류관도%저온직접건합
研究了一种新颖的微流管道血细胞计数器的结构及其工作原理,采用流体动力学对其液体分层流动特性进行了仿真分析,结合图形制备和低温直接键合工艺制作了硅基微流体管道血细胞计数器结构,并采用红外透射方法对微流体管道结构进行了检测.对封闭管道的流通性及结构的键合强度也进行了测量.研究分析表明,采用上述工艺制备的微流体芯片结构与电子器件兼容性好,具有良好的化学惰性和热稳定性,而且管道结构规则,精度高,键合界面层薄,具有较好的应用前景.
研究瞭一種新穎的微流管道血細胞計數器的結構及其工作原理,採用流體動力學對其液體分層流動特性進行瞭倣真分析,結閤圖形製備和低溫直接鍵閤工藝製作瞭硅基微流體管道血細胞計數器結構,併採用紅外透射方法對微流體管道結構進行瞭檢測.對封閉管道的流通性及結構的鍵閤彊度也進行瞭測量.研究分析錶明,採用上述工藝製備的微流體芯片結構與電子器件兼容性好,具有良好的化學惰性和熱穩定性,而且管道結構規則,精度高,鍵閤界麵層薄,具有較好的應用前景.
연구료일충신영적미류관도혈세포계수기적결구급기공작원리,채용류체동역학대기액체분층류동특성진행료방진분석,결합도형제비화저온직접건합공예제작료규기미류체관도혈세포계수기결구,병채용홍외투사방법대미류체관도결구진행료검측.대봉폐관도적류통성급결구적건합강도야진행료측량.연구분석표명,채용상술공예제비적미류체심편결구여전자기건겸용성호,구유량호적화학타성화열은정성,이차관도결구규칙,정도고,건합계면층박,구유교호적응용전경.
