功能材料与器件学报
功能材料與器件學報
공능재료여기건학보
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS AND DEVICES
2008年
6期
955-960
,共6页
董永芬%李隆玉%冯春岳%姜卫粉%李新建
董永芬%李隆玉%馮春嶽%薑衛粉%李新建
동영분%리륭옥%풍춘악%강위분%리신건
硅纳米孔柱阵列(Si-NPA)%WO3电容型湿敏传感器
硅納米孔柱陣列(Si-NPA)%WO3電容型濕敏傳感器
규납미공주진렬(Si-NPA)%WO3전용형습민전감기
采用匀胶旋涂技术将WO3溶胶沉积在硅纳米孔柱阵列(si-NPA)衬底上,经500℃退火制得WO3/Si-NPA复合薄膜.场发射扫描电镜和x射线衍射的表面形貌和结构分析表明,WO3在Si-NPA表面形成连续薄膜,且复合薄膜保持了Si-NPA规则阵列结构的特点.湿敏测试结果显示:在11%到95%的相对湿度范围内,WO3/Si-NPA湿敏元件输出电容强,且随测试频率的增加而单调降低;随着WO3薄膜厚度的增加,湿敏元件灵敏度明显增大,但元件相应的响应/恢复时间却延长.
採用勻膠鏇塗技術將WO3溶膠沉積在硅納米孔柱陣列(si-NPA)襯底上,經500℃退火製得WO3/Si-NPA複閤薄膜.場髮射掃描電鏡和x射線衍射的錶麵形貌和結構分析錶明,WO3在Si-NPA錶麵形成連續薄膜,且複閤薄膜保持瞭Si-NPA規則陣列結構的特點.濕敏測試結果顯示:在11%到95%的相對濕度範圍內,WO3/Si-NPA濕敏元件輸齣電容彊,且隨測試頻率的增加而單調降低;隨著WO3薄膜厚度的增加,濕敏元件靈敏度明顯增大,但元件相應的響應/恢複時間卻延長.
채용균효선도기술장WO3용효침적재규납미공주진렬(si-NPA)츤저상,경500℃퇴화제득WO3/Si-NPA복합박막.장발사소묘전경화x사선연사적표면형모화결구분석표명,WO3재Si-NPA표면형성련속박막,차복합박막보지료Si-NPA규칙진렬결구적특점.습민측시결과현시:재11%도95%적상대습도범위내,WO3/Si-NPA습민원건수출전용강,차수측시빈솔적증가이단조강저;수착WO3박막후도적증가,습민원건령민도명현증대,단원건상응적향응/회복시간각연장.
