华中科技大学学报（自然科学版）
華中科技大學學報（自然科學版）
화중과기대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF HUAZHONG UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY(NATURE SCIENCE)
2008年
10期
37-40
,共4页
张尚盈%陈学东%赵慧%严天宏
張尚盈%陳學東%趙慧%嚴天宏
장상영%진학동%조혜%엄천굉
超精密工件台%运动控制%主从控制%力解耦%精度
超精密工件檯%運動控製%主從控製%力解耦%精度
초정밀공건태%운동공제%주종공제%력해우%정도
描述了一种应用于集成电路(IC)制造的超精密工件台的运动控制.介绍了超精密工件台主从控制原理,它结合了粗动台和精动台两者的优点以实现运动控制的大行程和高精度.给出了超精密工件台机电系统基于闭环控制的动力学辨识方法.利用环路整形技术,研究了串联PID控制器和鲁棒控制器的自动综合方法.仿真结果表明该超精密工件台的定位精度可达到10 nm.
描述瞭一種應用于集成電路(IC)製造的超精密工件檯的運動控製.介紹瞭超精密工件檯主從控製原理,它結閤瞭粗動檯和精動檯兩者的優點以實現運動控製的大行程和高精度.給齣瞭超精密工件檯機電繫統基于閉環控製的動力學辨識方法.利用環路整形技術,研究瞭串聯PID控製器和魯棒控製器的自動綜閤方法.倣真結果錶明該超精密工件檯的定位精度可達到10 nm.
묘술료일충응용우집성전로(IC)제조적초정밀공건태적운동공제.개소료초정밀공건태주종공제원리,타결합료조동태화정동태량자적우점이실현운동공제적대행정화고정도.급출료초정밀공건태궤전계통기우폐배공제적동역학변식방법.이용배로정형기술,연구료천련PID공제기화로봉공제기적자동종합방법.방진결과표명해초정밀공건태적정위정도가체도10 nm.
