光学与光电技术
光學與光電技術
광학여광전기술
OPTICS & OPTOELECTRONIC TECHNOLOGY
2008年
6期
64-67
,共4页
原子力与光子扫描隧道组合显微镜%显微镜%浸油%数值孔径
原子力與光子掃描隧道組閤顯微鏡%顯微鏡%浸油%數值孔徑
원자력여광자소묘수도조합현미경%현미경%침유%수치공경
双功能原子力与光子扫描隧道显微镜(AF/PSTM)用7c对称双光束照明方法来消除假象.为改进现有的AF/PSTM系统,提出新的照明系统方案,并设计了新方案中需要的高数值孔径的浸油显微物镜.根据具体的物镜系统参数要求,选择合适的初始结构,用ZEMAX光学设计软件对物镜进行设计、优化和像质评价,设计结果显示浸油物镜的数值孔径大约1.54,可以很好地满足照明系统的需要.
雙功能原子力與光子掃描隧道顯微鏡(AF/PSTM)用7c對稱雙光束照明方法來消除假象.為改進現有的AF/PSTM繫統,提齣新的照明繫統方案,併設計瞭新方案中需要的高數值孔徑的浸油顯微物鏡.根據具體的物鏡繫統參數要求,選擇閤適的初始結構,用ZEMAX光學設計軟件對物鏡進行設計、優化和像質評價,設計結果顯示浸油物鏡的數值孔徑大約1.54,可以很好地滿足照明繫統的需要.
쌍공능원자력여광자소묘수도현미경(AF/PSTM)용7c대칭쌍광속조명방법래소제가상.위개진현유적AF/PSTM계통,제출신적조명계통방안,병설계료신방안중수요적고수치공경적침유현미물경.근거구체적물경계통삼수요구,선택합괄적초시결구,용ZEMAX광학설계연건대물경진행설계、우화화상질평개,설계결과현시침유물경적수치공경대약1.54,가이흔호지만족조명계통적수요.
