科技信息
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과기신식
SCIENTIFIC & TECHNICAL INFORMATION
2008年
21期
433,452
,共2页
静电防护%MEMS%光刻
靜電防護%MEMS%光刻
정전방호%MEMS%광각
本文论述了MEMS工艺中存在的静电问题,给出了工艺过程中特别是光刻工艺时的静电防护方法,具有一定的实践意义.
本文論述瞭MEMS工藝中存在的靜電問題,給齣瞭工藝過程中特彆是光刻工藝時的靜電防護方法,具有一定的實踐意義.
본문논술료MEMS공예중존재적정전문제,급출료공예과정중특별시광각공예시적정전방호방법,구유일정적실천의의.
