表面技术
錶麵技術
표면기술
SURFACE TECHNOLOGY
2008年
3期
41-43,48
,共4页
PECVD%复合薄膜%阻氘因子%Al-Al2O3
PECVD%複閤薄膜%阻氘因子%Al-Al2O3
PECVD%복합박막%조도인자%Al-Al2O3
为了提高不锈钢的阻氢性能,利用PECVD(等离子体增强化学气相沉积)技术在不锈钢表面上制备了Al薄膜,经真空热氧化处理(480℃)获得了Al-Al2O3复合薄膜.用表面分析手段SEM、 XRD、 EDS和XPS对所制备涂层的表面形貌、相结构、表面成分、表面元素的化学态进行了分析,并对其进行了阻氘性能研究.结果表明:该技术能够获得均匀、致密复合薄膜;在低于350℃时,阻氘效果非常好,几乎没有渗透,在350℃到450℃之间,阻氘因子能够达到250左右,但在高于450℃后,渗透非常明显.
為瞭提高不鏽鋼的阻氫性能,利用PECVD(等離子體增彊化學氣相沉積)技術在不鏽鋼錶麵上製備瞭Al薄膜,經真空熱氧化處理(480℃)穫得瞭Al-Al2O3複閤薄膜.用錶麵分析手段SEM、 XRD、 EDS和XPS對所製備塗層的錶麵形貌、相結構、錶麵成分、錶麵元素的化學態進行瞭分析,併對其進行瞭阻氘性能研究.結果錶明:該技術能夠穫得均勻、緻密複閤薄膜;在低于350℃時,阻氘效果非常好,幾乎沒有滲透,在350℃到450℃之間,阻氘因子能夠達到250左右,但在高于450℃後,滲透非常明顯.
위료제고불수강적조경성능,이용PECVD(등리자체증강화학기상침적)기술재불수강표면상제비료Al박막,경진공열양화처리(480℃)획득료Al-Al2O3복합박막.용표면분석수단SEM、 XRD、 EDS화XPS대소제비도층적표면형모、상결구、표면성분、표면원소적화학태진행료분석,병대기진행료조도성능연구.결과표명:해기술능구획득균균、치밀복합박막;재저우350℃시,조도효과비상호,궤호몰유삼투,재350℃도450℃지간,조도인자능구체도250좌우,단재고우450℃후,삼투비상명현.
