中国激光
中國激光
중국격광
CHINESE JOURNAL OF LASERS
2008年
2期
240-244
,共5页
陈本永%穆瑞珍%周砚江%李达成
陳本永%穆瑞珍%週硯江%李達成
진본영%목서진%주연강%리체성
测量%干涉仪%合成波长%非线性误差%偏振光非正交
測量%榦涉儀%閤成波長%非線性誤差%偏振光非正交
측량%간섭의%합성파장%비선성오차%편진광비정교
描述了激光合成波长纳米测量干涉仪的测量原理,分析了非线性误差对该干涉仪的影响,得出了由偏振光非正交、椭偏化和光学元件偏振非正交及椭偏化等对该干涉仪造成的非线性误差为偏振态误差的二阶或高阶小量.进行了激光合成波长纳米测量干涉仪和激光外差干涉仪的对比实验,结果表明激光合成波长纳米测量干涉仪的最大误差为2.1 nm,优于激光外差干涉仪的最大误差7.5 nm,验证了激光合成波长纳米测量干涉仪的优越性.
描述瞭激光閤成波長納米測量榦涉儀的測量原理,分析瞭非線性誤差對該榦涉儀的影響,得齣瞭由偏振光非正交、橢偏化和光學元件偏振非正交及橢偏化等對該榦涉儀造成的非線性誤差為偏振態誤差的二階或高階小量.進行瞭激光閤成波長納米測量榦涉儀和激光外差榦涉儀的對比實驗,結果錶明激光閤成波長納米測量榦涉儀的最大誤差為2.1 nm,優于激光外差榦涉儀的最大誤差7.5 nm,驗證瞭激光閤成波長納米測量榦涉儀的優越性.
묘술료격광합성파장납미측량간섭의적측량원리,분석료비선성오차대해간섭의적영향,득출료유편진광비정교、타편화화광학원건편진비정교급타편화등대해간섭의조성적비선성오차위편진태오차적이계혹고계소량.진행료격광합성파장납미측량간섭의화격광외차간섭의적대비실험,결과표명격광합성파장납미측량간섭의적최대오차위2.1 nm,우우격광외차간섭의적최대오차7.5 nm,험증료격광합성파장납미측량간섭의적우월성.
