材料导报
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재료도보
MATERIALS REVIEW
2008年
1期
65-69
,共5页
石永敬%龙思远%王杰%潘复生
石永敬%龍思遠%王傑%潘複生
석영경%룡사원%왕걸%반복생
磁控溅射%非平衡闭合磁场%脉冲%薄膜结构
磁控濺射%非平衡閉閤磁場%脈遲%薄膜結構
자공천사%비평형폐합자장%맥충%박막결구
直流磁控溅射是重要的物理气相沉积技术,广泛应用在工业生产和科学研究中.主要评论了近年来直流磁控溅射技术在溅射机理和非平衡闭合磁控靶等方面取得的重要进展,并评述了脉冲磁控模式和基于闭合磁场直流磁控溅射沉积涂层的结构区域模型.直流非平衡磁控溅射是直流磁控溅射技术中的重要里程碑,使磁控溅射技术直接过渡到离子镀阶段,而脉冲磁控溅射技术为稳定沉积高质量的非导电涂层作出了重要的贡献.
直流磁控濺射是重要的物理氣相沉積技術,廣汎應用在工業生產和科學研究中.主要評論瞭近年來直流磁控濺射技術在濺射機理和非平衡閉閤磁控靶等方麵取得的重要進展,併評述瞭脈遲磁控模式和基于閉閤磁場直流磁控濺射沉積塗層的結構區域模型.直流非平衡磁控濺射是直流磁控濺射技術中的重要裏程碑,使磁控濺射技術直接過渡到離子鍍階段,而脈遲磁控濺射技術為穩定沉積高質量的非導電塗層作齣瞭重要的貢獻.
직류자공천사시중요적물리기상침적기술,엄범응용재공업생산화과학연구중.주요평론료근년래직류자공천사기술재천사궤리화비평형폐합자공파등방면취득적중요진전,병평술료맥충자공모식화기우폐합자장직류자공천사침적도층적결구구역모형.직류비평형자공천사시직류자공천사기술중적중요리정비,사자공천사기술직접과도도리자도계단,이맥충자공천사기술위은정침적고질량적비도전도층작출료중요적공헌.
