混合式长波线列TDI红外探测器改进互连工艺研究
혼합식장파선렬TDI홍외탐측기개진호련공예연구
Flip Chip Technology Development of Linear TDI LWIR
  • 万方数据
    激光与红外 격광여홍외
    LASER & INFRARED
    2007年 12期 1281-1282,1286 ,共3页

    沈悦%谢珩%张毓捷

    침열%사형%장육첩

    长波红外探测器%倒装互连%共片工艺 長波紅外探測器%倒裝互連%共片工藝
    장파홍외탐측기%도장호련%공편공예
    根据目前混合式红外焦平面互连工艺以及对长波线列延时积分红外探测器产量增长的需求,结合现有的工艺设备能力,开发出"共片工艺",以最大限度地提高在互连工艺段的生产效率.
    근거목전혼합식홍외초평면호련공예이급대장파선렬연시적분홍외탐측기산량증장적수구,결합현유적공예설비능력,개발출"공편공예",이최대한도지제고재호련공예단적생산효솔.
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