电子科技大学学报
電子科技大學學報
전자과기대학학보
JOURNAL OF UNIVERSITY OF ELECTRONIC SCIENCE AND TECHNOLOGY OF CHINA
2007年
5期
952-954,968
,共4页
董加和%杨成韬%郑泽渔%李健雄%张树人
董加和%楊成韜%鄭澤漁%李健雄%張樹人
동가화%양성도%정택어%리건웅%장수인
频散特性%有效介电常数%瑞利波%递归刚度矩阵法
頻散特性%有效介電常數%瑞利波%遞歸剛度矩陣法
빈산특성%유효개전상수%서리파%체귀강도구진법
结合声表面波的基本理论和递归刚度矩阵法,通过将瑞利波从声表面波中分离,推导出基于ZNO/金刚石/Si结构的有效介电常数数学模型.根据所建立的数学模型,采用Matlab编制出相应程序,计算得到瑞利波的相速度和机电耦合系数频散曲线.该频散曲线具有较高的精确性,能很好地反映出瑞利波的频散特性.本文从解基本的波动方程理论出发,得到了三层结构的有效介电常数数学模型,并且将其程序化,最终得到了声表面波器件设计中的两个重要参数,为多层薄膜器件的设计奠定了一定的基础.
結閤聲錶麵波的基本理論和遞歸剛度矩陣法,通過將瑞利波從聲錶麵波中分離,推導齣基于ZNO/金剛石/Si結構的有效介電常數數學模型.根據所建立的數學模型,採用Matlab編製齣相應程序,計算得到瑞利波的相速度和機電耦閤繫數頻散麯線.該頻散麯線具有較高的精確性,能很好地反映齣瑞利波的頻散特性.本文從解基本的波動方程理論齣髮,得到瞭三層結構的有效介電常數數學模型,併且將其程序化,最終得到瞭聲錶麵波器件設計中的兩箇重要參數,為多層薄膜器件的設計奠定瞭一定的基礎.
결합성표면파적기본이론화체귀강도구진법,통과장서리파종성표면파중분리,추도출기우ZNO/금강석/Si결구적유효개전상수수학모형.근거소건립적수학모형,채용Matlab편제출상응정서,계산득도서리파적상속도화궤전우합계수빈산곡선.해빈산곡선구유교고적정학성,능흔호지반영출서리파적빈산특성.본문종해기본적파동방정이론출발,득도료삼층결구적유효개전상수수학모형,병차장기정서화,최종득도료성표면파기건설계중적량개중요삼수,위다층박막기건적설계전정료일정적기출.
