激光与红外
激光與紅外
격광여홍외
LASER & INFRARED
2007年
z1期
974-976
,共3页
张洁%彭铭曾%朱学亮%颜建锋%郭丽伟%贾海强%陈弘%周均铭
張潔%彭銘曾%硃學亮%顏建鋒%郭麗偉%賈海彊%陳弘%週均銘
장길%팽명증%주학량%안건봉%곽려위%가해강%진홍%주균명
AlN%MOCVD%表面形貌%光学吸收
AlN%MOCVD%錶麵形貌%光學吸收
AlN%MOCVD%표면형모%광학흡수
文章研究了AlN薄膜的晶体质量、表面形貌、应力等性质与AlN生长工艺的依赖关系.通过对低温成核厚度、成核温度和高温生长AlN所用Ⅴ/Ⅲ比的研究,制备出了具有较好晶体质量的AlN薄膜.高分辨三晶X射线衍射给出AlN薄膜的(002)和(105)的半高宽分别为16.9arcsec和615arcsec,接近国际上报道的较好结果.原子力显微镜对表面形貌的分析表明AlN薄膜的粗糙度为5.7nm.拉曼光谱表明E2(high)模向高能方向移动,说明蓝宝石上外延的AlN薄膜处于压应变状态.光学吸收谱在204nm处具有陡峭的带边吸收,也表明了AlN外延薄膜具有较好地晶体质量.
文章研究瞭AlN薄膜的晶體質量、錶麵形貌、應力等性質與AlN生長工藝的依賴關繫.通過對低溫成覈厚度、成覈溫度和高溫生長AlN所用Ⅴ/Ⅲ比的研究,製備齣瞭具有較好晶體質量的AlN薄膜.高分辨三晶X射線衍射給齣AlN薄膜的(002)和(105)的半高寬分彆為16.9arcsec和615arcsec,接近國際上報道的較好結果.原子力顯微鏡對錶麵形貌的分析錶明AlN薄膜的粗糙度為5.7nm.拉曼光譜錶明E2(high)模嚮高能方嚮移動,說明藍寶石上外延的AlN薄膜處于壓應變狀態.光學吸收譜在204nm處具有陡峭的帶邊吸收,也錶明瞭AlN外延薄膜具有較好地晶體質量.
문장연구료AlN박막적정체질량、표면형모、응력등성질여AlN생장공예적의뢰관계.통과대저온성핵후도、성핵온도화고온생장AlN소용Ⅴ/Ⅲ비적연구,제비출료구유교호정체질량적AlN박막.고분변삼정X사선연사급출AlN박막적(002)화(105)적반고관분별위16.9arcsec화615arcsec,접근국제상보도적교호결과.원자력현미경대표면형모적분석표명AlN박막적조조도위5.7nm.랍만광보표명E2(high)모향고능방향이동,설명람보석상외연적AlN박막처우압응변상태.광학흡수보재204nm처구유두초적대변흡수,야표명료AlN외연박막구유교호지정체질량.
