卧式PECVD在太阳能行业的应用
와식PECVD재태양능행업적응용
The Application of Horizontal Heated Pecvd System in Solar Cells
  • 万方数据
    电子工业专用设备 전자공업전용설비
    EQUIPMENT FOR ELECTRONIC PRODUCTS MANUFACTURING
    2007年 9期 16-19,38 ,共5页

    郑建宇%盛金龙%张上华

    정건우%성금룡%장상화

    PECVD%氨化硅薄膜%工艺%改进 PECVD%氨化硅薄膜%工藝%改進
    PECVD%안화규박막%공예%개진
    介绍了一种用于太阳能行业淀种氨化硅薄膜的等离子增强化学气相淀积设备,叙述了该设备的结构组成,并重点阐述了工艺原理及关键技术的改进.
    개소료일충용우태양능행업정충안화규박막적등리자증강화학기상정적설비,서술료해설비적결구조성,병중점천술료공예원리급관건기술적개진.
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