材料导报
材料導報
재료도보
MATERIALS REVIEW
2006年
z2期
326-329
,共4页
孙景文%李长生%李俊茂%姚固文%姜春华
孫景文%李長生%李俊茂%姚固文%薑春華
손경문%리장생%리준무%요고문%강춘화
磁控溅射%Ni-Mn-Ga薄膜%铁磁形状记忆合金%MEMS
磁控濺射%Ni-Mn-Ga薄膜%鐵磁形狀記憶閤金%MEMS
자공천사%Ni-Mn-Ga박막%철자형상기억합금%MEMS
以Ni-Mn-Ga为主要代表的铁磁形状记忆合金(FSMAs)不但具有传统形状记忆合金受温度控制的热弹性形状记忆效应,而且具有受磁场控制的铁磁形状记忆效应.微机电系统(MEMS)的应用要求Ni-Mn-Ga合金必须制备成薄膜的形式.对溅射沉积Ni-Mn-Ga薄膜的制备工艺进行了回顾与总结,对薄膜的各种性能特征和影响因素进行了详细的叙述,最后介绍了溅射沉积Ni-Mn-Ga薄膜的应用状况和应用趋势.
以Ni-Mn-Ga為主要代錶的鐵磁形狀記憶閤金(FSMAs)不但具有傳統形狀記憶閤金受溫度控製的熱彈性形狀記憶效應,而且具有受磁場控製的鐵磁形狀記憶效應.微機電繫統(MEMS)的應用要求Ni-Mn-Ga閤金必鬚製備成薄膜的形式.對濺射沉積Ni-Mn-Ga薄膜的製備工藝進行瞭迴顧與總結,對薄膜的各種性能特徵和影響因素進行瞭詳細的敘述,最後介紹瞭濺射沉積Ni-Mn-Ga薄膜的應用狀況和應用趨勢.
이Ni-Mn-Ga위주요대표적철자형상기억합금(FSMAs)불단구유전통형상기억합금수온도공제적열탄성형상기억효응,이차구유수자장공제적철자형상기억효응.미궤전계통(MEMS)적응용요구Ni-Mn-Ga합금필수제비성박막적형식.대천사침적Ni-Mn-Ga박막적제비공예진행료회고여총결,대박막적각충성능특정화영향인소진행료상세적서술,최후개소료천사침적Ni-Mn-Ga박막적응용상황화응용추세.
