光电子·激光
光電子·激光
광전자·격광
JOURNAL OF OPTOECTRONICS·LASER
2006年
6期
685-687
,共3页
魏会敏%罗风光%曹明翠%胡巧燕
魏會敏%囉風光%曹明翠%鬍巧燕
위회민%라풍광%조명취%호교연
微电机系统(MEMS)%可调光衰减器(VOA)%插入损耗%偏振相关损耗%波长相关损耗%回波损耗
微電機繫統(MEMS)%可調光衰減器(VOA)%插入損耗%偏振相關損耗%波長相關損耗%迴波損耗
미전궤계통(MEMS)%가조광쇠감기(VOA)%삽입손모%편진상관손모%파장상관손모%회파손모
研制了一种低成本、小体积的静电驱动微电机系统(MEMS)可调光衰减器(VOA).该器件采用了静电驱动微反射镜和光纤光准直器,它具有良好的光学性能,克服了传统VOA的缺点.它的驱动电压范围是0～8 V,工作范围是0～25 dB.给出了器件的衰减量和驱动电压的关系、光学性能的分析和试验结果.
研製瞭一種低成本、小體積的靜電驅動微電機繫統(MEMS)可調光衰減器(VOA).該器件採用瞭靜電驅動微反射鏡和光纖光準直器,它具有良好的光學性能,剋服瞭傳統VOA的缺點.它的驅動電壓範圍是0～8 V,工作範圍是0～25 dB.給齣瞭器件的衰減量和驅動電壓的關繫、光學性能的分析和試驗結果.
연제료일충저성본、소체적적정전구동미전궤계통(MEMS)가조광쇠감기(VOA).해기건채용료정전구동미반사경화광섬광준직기,타구유량호적광학성능,극복료전통VOA적결점.타적구동전압범위시0～8 V,공작범위시0～25 dB.급출료기건적쇠감량화구동전압적관계、광학성능적분석화시험결과.
