机械科学与技术
機械科學與技術
궤계과학여기술
MECHANICAL SCIENCE AND TECHNOLOGY
2006年
3期
281-283
,共3页
微型电子机械系统%电容检测%加速度计%仿真模拟
微型電子機械繫統%電容檢測%加速度計%倣真模擬
미형전자궤계계통%전용검측%가속도계%방진모의
提出一种带有杠杆机构的电容检测微型加速度计.通过外来加速度使质量块经杠杆将力放大施加到弹性梁上产生位移、改变检测电容间距得到与加速度成比例的电压信号,从而测出加速度大小.研究表明:这种加速度计的灵敏度可明显提高.同时采用有限元方法进行了仿真模拟,结果显示系统测量范围可达100g、工作模态固有频率为209036 Hz.
提齣一種帶有槓桿機構的電容檢測微型加速度計.通過外來加速度使質量塊經槓桿將力放大施加到彈性樑上產生位移、改變檢測電容間距得到與加速度成比例的電壓信號,從而測齣加速度大小.研究錶明:這種加速度計的靈敏度可明顯提高.同時採用有限元方法進行瞭倣真模擬,結果顯示繫統測量範圍可達100g、工作模態固有頻率為209036 Hz.
제출일충대유강간궤구적전용검측미형가속도계.통과외래가속도사질량괴경강간장력방대시가도탄성량상산생위이、개변검측전용간거득도여가속도성비례적전압신호,종이측출가속도대소.연구표명:저충가속도계적령민도가명현제고.동시채용유한원방법진행료방진모의,결과현시계통측량범위가체100g、공작모태고유빈솔위209036 Hz.
